中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293629288 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは、シリコンウエハ、チップなどの薄膜材料において、効率的かつ大規模な切削・薄型加工が可能なウェットプロセスステーションです。非常に低コストの製造プロセスを備えた自動化されたツールであり、信頼性の高い半導体製造工程を提供します。TEL Expediusは、ウェット処理タンクとプロセスオートメーションに使用されるロボットを含む2つの基本コンポーネントで構成されています。装置の中心には、液体および固体プロセス材料の両方を安全かつ安全に転送するように設計された加圧原料搬送タンクがあります。ロボットユニットは2つのロボットアームで構成され、1つはステーションにウェーハを積むためのもの、もう1つはロボットアーム、圧力、動き、およびプロセスの流れを制御するためのものです。システムには高度な制御ユニットがあり、ユーザーはプロセスパラメータをカスタマイズして微調整することができます。TOKYO ELECTRON Expediusプロファイルと呼ばれるこのマシンは、プロセスパラメータを立体的に表現しています。このツールを使用すると、ユーザーは追加の材料や人件費に投資することなく、プロセスの中心性を高めることができます。効率的な操作に加えて、Expediusにはさまざまな安全機能と高度な技術が搭載されています。タンクには安全扉が装備されており、ロボットアームにはユーザー定義の危険条件を検出できるロボットセンサーが搭載されています。さらに、組み込みの自動プロセスモニタリングとデータロギングアセットは、イベントの場合にオペレータに信頼性の高いプロセス履歴記録とアラートを提供するように設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは、包括的な湿式加工モデルであり、半導体産業における薄膜プロセスの進め方に革命をもたらしました。自動化されたタンクとロボットアームの組み合わせだけでなく、その高度な安全機能は、信頼性と費用対効果の高い操作を可能にします。さらに、付属のプロファイル機器により、手動での介入を最小限に抑えてプロセスパラメータを高度にカスタマイズできます。