中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293594359 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+は、半導体製造の化学プロセス向けに設計されたウェットステーションです。このウェットステーションには、水没したピロエッチオーブン、バスコントローラー、エッチガス分配パネルがあり、ウェットエッチング、アッシング、ストリップ処理を行うことができます。ピロエッチオーブンは、さまざまな腐食性の化学物質で基板を安全にエッチングするように設計されています。それは触媒5つの地帯の反応の部屋の温度調整を使用して自動的に温度を調節する高低の温度操作を使用します。触媒5ゾーン反応チャンバーは、エッチングチャンバー内の異なるガス含有量の間での制御および迅速な変更に最適であり、最大5段階のエッチング速度制御が可能です。バスコントローラは、エッチング室での操作を最小限に抑えて行うことができるユーザーフレンドリーで自動化されたコントローラであり、熱および酸素の欠損からパイロエッチオーブンを保護します。バスコントローラーは速い応答の浴室があり、115までの調理法を貯えることができ安全な物質的な処理メカニズムは最も高い製品品質および安全を保障します。ウェットステーション内に統合されたエッチガス配電パネルにより、高純度の希ガスを効率的かつ確実に配送できます。複数のガス制御バルブを備えており、液体と蒸気ガスの両方を供給することができます。ガス供給フローは、エッチング反応の迅速な取り込みと熱応力の最小化のバランスをとるように設計されています。このパネルには、ガスの安全で安全な取り扱いを保証する自動コンテナ排気および漏れ試験機能も備えています。TEL Expedius+ウェットステーションは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、操作と監視が容易です。ユーザーは、ユーザーフレンドリーなグラフィックディスプレイと幅広いセンサー入力信号を使用して、アラームと動作ステータスを表示できます。また、データ管理とCMMS （Computerized Maintenance Management System）同期もサポートし、すべてのプロセスに簡単にトレーサビリティを提供します。TOKYO ELECTRON Expedius+ウェットステーションは、信頼性の高い効率的な化学処理能力を提供します。堅牢で使いやすい設計で、産業用半導体製造やその他の高精度の化学プロセスに適しています。