中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius-i #293821711 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius-iは、高度なウェットプロセス機能と柔軟性を提供するウェットステーションです。この機器は高度に構成可能なオープンアーキテクチャを備えており、ユーザーはウェットプロセスのアプリケーション要件の変更に簡単かつ迅速に適応できます。TEL Expedius-iは、浸漬、スプレー、レジストストリップ、シードコーティングなど多種多様な処理が可能です。このシステムは、ウェーハ、ディスク基板、および直径16までのその他の形状を含む幅広い基板に対応するように設計されています。また、低温プロセスから高温プロセス、シンプルプロセスから複雑プロセス、標準プロセスから高度なプロセスまで、さまざまなプロセス要件をサポートしています。TOKYO ELECTRON Expedius-iには、高度なin-situプロセス監視機が搭載されており、プロセスの進行状況を正確かつ正確に監視することができます。この現場でのプロセス監視ツールには、pH、イオン検出、呼吸センサーなどのさまざまなセンサー、および正確な温度および湿度制御を保証する高度な8チャンネル熱電対および湿度検出アセットなどの機能が含まれています。Expedius-iは、ウェットプロセスを最大限に柔軟に制御できる包括的なプロセスコントロールソフトウェアを備えています。このプロセス制御ソフトウェアには、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれており、ユーザーはモデルのさまざまな機能を構成、監視、制御することができます。このソフトウェアには、事前に定義されたプロセスレシピの包括的なセットも含まれており、ユーザーは最小限の労力でプロセスを迅速かつ簡単に処理することができます。TEL/TOKYO ELECTRON Expedius-iは、研究用途と生産用途の両方のニーズを満たすように設計されています。そのモジュラー設計と高度な機能は、自動カセットハンドリング、プリリンスタンク、スピンとリンスアクセサリー、およびその他のさまざまなオプションなど、包括的なアクセサリーのスイートに裏付けられています。TEL Expedius-iは、最新のウェットプロセスアプリケーションのニーズを満たすように設計された強力で効率的なウェットステーションです。その高度な機能セット、堅牢なデザイン、包括的なアクセサリのセットは、最高レベルのプロセス性能と効率を達成するための理想的な選択肢です。