中古 STEAG / MATTSON / AST AWP #9091165 を販売中

AST （SMAST）自動ウェットプロセス（STEAG/MATTSON/AST AWP）ステーションは、半導体包装およびウェハアセンブリプロセスの自動運転用に設計された、高度で大容量のウェット処理ステーションです。SMAST AST AWP Stationは、人間の介入を減らすために設計された完全なモジュール式ウェット処理プラットフォームであり、最適な歩留まりで一貫してプロセスサイクル時間を提供します。SMAST STEAG AWP Stationは、ウェーハと部品の取り扱い、化学処理、ポストプロセス操作の3つのコア機能を備えています。化学処理プラットフォームは中央に配置され、モジュール化されているため、特定のお客様のニーズに合わせて処理サイクルをカスタマイズできます。この柔軟な設計により、不要なモジュールが不要になり、全体的な設置面積とコストが削減されます。SMAST AWP Stationには、自動ウェハハンドリングと自動保管および検索システムも搭載されています。自動化されたハンドリング装置は、ロボットアームを使用して、異なるプロセス段階の間でウェーハや部品を輸送し、汚染物質から完全な物理的分離を提供します。保管および検索システムは、ウェーハと部品の在庫を最適なレベルに保ち、必要な化学薬品や溶剤を自動的に処理チャンバに充填するように設計されています。ステーションには、すすぎタンク、漬物タンク、乾燥タンク、シールタンクの4つの主要なプロセスタンクも含まれています。タンク内部では、STEAG Technologyの高度なマルチノズルヘッドユニットを採用し、化学プロセス全体で可能な限り最高の均一性を提供します。ステーションには、パーソナルコンピュータに接続された統合プロセスコントローラがあり、完全なプロセスカスタマイズとレシピドキュメンテーションが可能です。SMAST MATTSON AWPステーションは、幅広いプロセス化学および機能を可能にし、認証済みおよび非認証の化学物質の両方を可能にします。ユーザーフレンドリーなソフトウェアプラットフォームは、プロセスの進捗状況を監視し、潜在的な化学的または温度の不一致を特定するように設計されており、プロセスの修正とリアルタイムの改善を可能にします。SMAST STEAG/MATTSON/AST AWPステーションには、液体洗浄機、乾燥窒素カスケード洗浄ツール、乾燥酸素カスケード洗浄資産、超音波洗浄サイクルの4つの洗浄システムが装備されています。この幅広い洗浄ソリューションにより、製品の最高のベースライン品質が保証され、すべての安全性、環境、および産業仕様を満たします。最後に、SMAST AST AWPステーションは、洗練された換気、発煙フード、ESD付きの安全扉、自動絶縁などの高度な環境保護対策を備えています。これらのセーフガードは、人員とステーションが利用される環境を保護しながら、運用効率を最大限に高めるように設計されています。