中古 SINGULUS Silex SDE800 #9299897 を販売中

ID: 9299897
Wet processing system (5) Chambers (2) Conveyors SIEMENS Simaticrack PC.
SINGULUS Silex SDE800ウェットステーションは、医療機器メーカーや薄膜蒸着分野の研究者のニーズに応えるように設計された堅牢で信頼性の高い生産対応機です。プロセスチャンバーを内蔵したモジュラープラットフォームで、温度、圧力、速度、エッチングを高精度に制御し、8インチ、10インチなどの標準ウェーハサイズとの互換性を備えています。SDE800ウェットステーションには、150以上の個々のプロセスパラメータを備えた高度な安全および監視技術が搭載されており、信頼性と再現性を確保しています。SDE800ウェットステーションは、繊細な基板や材料を使用してさまざまな手順を実行する医療機器メーカーのニーズを満たすように設計されています。これには、エッチング、薄膜コーティング、およびカプセル化プロセス、ならびに真空、大気、腐食性ガス処理ニーズの用途が含まれます。SDE800ウェットステーションは、低温処理機能に加えて、プラズマ、プラズマイオン注入、スパッタリング、イオンビーム蒸着などの高度なプロセスもサポートしています。さらに、このマシンには、ユーザーフレンドリーでグラフィカルインターフェイスを備えたさまざまな自動制御システムが装備されています。SDE800ウェットステーションは、個々の研究や業界アプリケーションのニーズを満たすために、さまざまなモジュールを備えたベースモデルで構成されています。機械の中心にはユニバーサルプロセスチャンバー、55°Cの低温を達成することができ、8インチまたは10インチの直径の基板サイズにアップグレードするオプションで最大10〜7トーラーを圧力する球状チャンバーがあります。各チャンバーには、統合された温度および圧力計と、自動化された圧力プロファイルを備えた統合真空レベル測定システムも備えています。さらに、チャンバーは、必要に応じてガス混合のためのオプションで、水素やアルゴンなどのプロセスガスの範囲をサポートしています。信頼性と再現性を確保するために、SDE800ウェットステーションは150以上のプロセスパラメータを備えた洗練された安全監視システムを備えています。これには、電子故障検出システムと、プロセスに重要な条件が発生した場合の緊急自動シャットダウンシステムが含まれます。このマシンはまた、便利な監視と校正のためのグラフィカルユーザーインターフェイスを備えた統合制御システムを備えています。結論として、Silex SDE800ウェットステーションは、医療機器メーカーや薄膜蒸着プロセスの研究者のニーズを満たすように設計された先進的な機械です。モジュラー設計、高精度な制御機能、洗練された安全システムを備えたSDE800ウェットステーションは、幅広い繊細な基板および材料ニーズに最適なソリューションです。
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