中古 SES PEGASUS #168066 を販売中
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ID: 168066
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Wet station, 8"
(5) Chemical baths
Process: Solvent Strip Station
(2) KOMATSU Hot DIW heater units
Bath configuration:
1 / CC
2 / BOE
3 / EDR
4 / H3PO4
5 / H3PO4
6 / H3PO4
7 / HQDR
8 / SC-1
9 / HQDR
10 / FR
11 / IP DRYER
Includes:
LD Module
BOE Module
HP Module
SC-1 Module
FR, Dryer module
LD Front conveyor
ULD Front conveyor
Vapor dryer (IPA)
Sonic generator, SC-1 con unit
Rear monitor rack (maintenance PC) and operation manual
(5) Boxes with parts
IPA Scrubber
(5) Back conveyors
LD Electric box
HP Heater electric box (in-line heater)
Main electric box
ULD electric box
Computer rack
(2) KOMATSU Hot DI units
(2) Pipe ducts
HP (H3PO4) Pump (HP circulation unit)
(5) Boxes of parts:
Drain tank
H3PO4 Circulation duct
H3PO4 Circulation duct
H3PO4 Bath, dryer cover, F/R wafer guider
F/R Bath
HQDR Bath
IPA Dryer bath
H3PO4 Temp, SC-1 temp cover, ARM chuck, HQDR wafer guider, HQDR bubbler
(3) H3PO4 Baths, HQD bubbler, HQDR wafer guider
QDR Bath
SC-1 Bath, SC-1 wafer guider
H3PO4 (1, 2, 3) Bath cover, SC-1 bath cover
(2) HQDR Baths, (2) ARM chucks, dryer cover
(2) H3PO4 Baths, (3) ARM chucks, F/R plate
QDR Wafer guider, H3PO4 (1, 2, 3) wafer guider
Operation manual
1997 vintage.
SES PEGASUSは、長期海洋研究中の海面浮力と温度を監視し、維持するために設計された湿式ステーションです。海流の理解と気候変動の影響を改善するためにデータを収集することができます。ステーションは、ステーションを固定するために海水で満たすことができる2つの浮力チャンバーに接続された鉄骨フレームで構成されています。さらに、気圧、湿度、風速/方向、海面温度などの様々なパラメータを測定するための計測器が配列されています。一連のポンプおよび弁は波データ収集および波エネルギー変換のために接続することができます。ステーションには、温度、塩分、酸素、pH、蛍光、濁度を測定するさまざまなセンサーが装備されています。これらのデータは、湿った駅の周辺の海洋状況を理解する上で非常に貴重です。これらの測定により、ステーションは、監視している海洋調査に代わってリアルタイムの意思決定と最適化を行うことができます。PEGASUSは、過酷な海の条件に耐え、定期的に計装の完全性を維持できるように、耐食性のある材料と堅い構造の完全性で構成されています。ステーションは、ハリケーン強度の嵐の間の安全性と完全性を確保するために、電源から切断されたときに浮力を維持できるように設計されています。SES PEGASUSは、短期運用のためのオンショア電源に接続することができ、タイムリーなデータ取得とステーションのメンテナンスを可能にします。これは、ステーションがセンサーデータをリアルタイムに送信し、収集されたデータをより効果的に分析し、意思決定をより迅速に行うことができるため、特に重要です。これにより、データ収集の精度とステーションの有用性がさらに向上します。また、環境汚染物質を低減するための環境処理システム（EHS）を備えています。このシステムにより、PEGASUSは、必要なデータ収集と機器を提供しながら、ステーションが環境に与える影響を最小限に抑えることができます。要約すると、SES PEGASUSは耐食性、構造整合性、エネルギー貯蔵、EHS管理などの機能を備え、さまざまな海洋データを収集することができる堅牢で信頼性の高い湿式ステーションです。このステーションは、海洋と気候変動をよりよく理解するために、さまざまな研究研究に利益をもたらすことができます。
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