中古 SES BW3000 #9257034 を販売中
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ID: 9257034
ウェーハサイズ: 12"
Wet station, 12"
F-Type
(50) Wafers
Bath configuration:
L/D, L/R, C/W, HS1, HS2, HQDR1, HQDR2, SC1 (1), HQDR3, SC1 (2) RMMDs, UL/D.
SES BW3000は、自動化されたクリーンルームのウェットプロセスを強力かつ効率的にサポートするように設計された最先端のウェットステーションです。重要なクリーニングアプリケーションに、正確で反復可能で費用対効果の高いソリューションを提供します。このユニットは、工具洗浄プロセスの各プロセスステップが適切に管理されていることを確認するために、温度、洗浄水流量、水圧、洗剤の濃度を高精度に制御します。このユニットは、洗浄前、洗剤洗浄、最終洗浄、熱風乾燥などの4つの洗浄ステップを備えています。装置はクラス1 (ISO 5)まで評価されるクリーンルームの最適操作のために設計され、湿式ステーションの条件の遠隔制御そして監視のための中央プロセスコントローラに接続することができます。ステーションには、機械部品を損傷する可能性のある望ましくない加熱やスケーリングを防止するために、温度や圧力などの単位パラメータを監視する統合安全システムが装備されています。マシンは自動停止モードで動作するように設定することができ、予期しない電力降下またはサージが発生した場合にプロセスが停止するようにします。付属のアラームツールを使用して、障害または警告が発生した場合にユーザーに警告することができます。ステーションはシンプルなインターフェースで、使いやすく安全に設計されています。ステーションのホースとノズルは帯電防止および腐食防止機能を備えており、クリーニングプロセスが汚染や腐食なしで実行されるように設計されています。フロントパネルは、水温と流量、圧力、洗剤比、サイクルタイム、サイクルカウントなど、関連するすべてのパラメータを簡単に監視できます。さらに、アセットはユーザーの便宜のために最後の10サイクルに関するデータを保存することができます。SES BW 3000は、自動化されたクリーンルームのウェットプロセス管理のための信頼性の高い効率的なツールです。このユニットは、耐久性と長寿命のために設計されており、その機能はユーザーにプロセスの精度と再現性を向上させます。さらに、ユニットの安全システムとシンプルなインターフェイスは、ウェットステーションの安全で効率的な動作を保証します。
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