中古 SCREEN FC-3000 #9384193 を販売中

SCREEN FC-3000ウェットステーションは、フォトリソグラフィーウェハを1つの自動運転で処理するために設計されたオールインワンのウェットステーションです。FC-3000は、ロボットアームとフレキシブルハンドリングシステムを使用して、フルプロセスオートメーションを実現しています。SCREEN FC-3000の主なコンポーネントは、ウェットステーション、洗浄プロシージャモジュール、クリーニングモジュール、SPDモジュール、ポストエッチングモジュール、および制御ソフトウェアです。ウェットステーションは、6段ポンプ技術を備えた500リットルタンクです。それはステンレス鋼から組み立てられ、さまざまな処理の適用のための温度そしてpHのレベルを維持できます。洗浄手順モジュールは、ウェーハの印刷、スクラブ、洗浄に使用されます。これは、スループットと効率的な操作を向上させるために最大16のパラメータを備えた完全にプログラム可能な自動洗浄プロセスサイクルを備えています。クリーニングモジュールは、ウェーハにクリーンな作業環境を提供します。SPDモジュールは、汚染物を完全に除去するためにスプレーおよびドレイン操作に使用されます。ポストエッチモジュールは、掘削やガスブレイジングなどのポストエッチング操作に使用されます。それは均一で完全な適用範囲を提供するためにずれたスプレーノズルの技術を含んでいます。FC-3000はまた、効率的なセットアップと操作のためのタッチスクリーンのユーザーインターフェイスと完全に自動化された制御システムを備えています。複数のプロセスを管理し、サイクル操作、温度、圧力に関するデータを提供できます。高度な安全機能により、汚染や危険のリスクが低い安全な動作を保証します。さらに、SCREEN FC-3000を他のシステムと統合してプロセス制御を行うことも可能です。FC-3000ウェットステーションは、フォトリソグラフィーウェハ処理のための信頼性の高い強力なソリューションです。これは、効率的な操作とメンテナンスのための機能と機能の完全な範囲を提供します。完全に自動化されたプロセスにより、さまざまなアプリケーションに最適で、迅速な生産要件を満たすことができます。堅牢な構造と高度な安全機能を備えたSCREEN FC-3000は、あらゆるフォトリソグラフィープロセスに最適です。