中古 SCHMID Wet bench #9236627 を販売中

SCHMIDウェットベンチは、半導体デバイス処理用に設計された高度なウェットステーションです。ウェーハなどの塗装、開発、エッチング、洗浄、乾燥に対応する高精度で柔軟な装置です。ウェットベンチは、すべてのプロセスパラメータが正確に追従し、最適化が達成されるように設計されています。このシステムは、プロセス・ステーション、クリーニングモジュール、ホットプレート、排気ユニット、および独自の制御を含むツールと主要コンポーネントを保持するための中央テーブルを備えた統合されたモジュール設計を備えています。プロセスステーションには、メカニカルローダー、ケミカルバス、ポンプ、継手など、SCHMIDウェットベンチのすべての主要コンポーネントが収納されています。クリーニングモジュールは、クリーニングソリューションの導入と除去、効率的な排水を可能にします。ホットプレートは加工後の部品の効果的な乾燥を可能にします。排気機はプロセス変数が監視されている間、安全で、きれいな環境を提供します。ウェットベンチは、偶発的な汚染や怪我を防ぐための一連の安全インターロックも備えています。さらに、高度な光学センサを使用して、過熱や化学物質の流出を検出して防止します。インラインフィルトレーションツールも付属しており、粒子やその他の汚染物質を除去してプロセス性能を最適化することができます。SCHMIDウェットベンチも高効率で信頼性があります。高度なソフトウェアは、パフォーマンスを最適化するためにプロセスレシピやパラメータの管理を可能にします。これはまた、精密なディスペンサー資産と、後で分析するためのデータを測定および保存できる監視モデルによって補完されます。また、この機器は、リモート制御とデータ共有のための既存のネットワークシステムとの完全な統合のために設計されています。ウェットベンチは、過酷な条件下でも精密かつ精密な運転が可能な信頼性の高いシステムです。ウェーハ処理のプロセスを大幅に加速し、結果として得られる製品の最高品質を確保する革新的なユニットです。