中古 RISE Wet bench #293736951 を販売中
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タップしてズーム
ID: 293736951
ヴィンテージ: 2014
(2) Thermal chiller circulators
(2) 280L Sump tanks
(4) Drain pump
(2) Wasted chemical tanks
IPA Dryer
Inline heater
Quartz Tank
Megasonic transducer
Megasonic generator
Touch screen
Robot / Controller
H2O2 Spiking
Aluminum 80% plastic 20%
Power supply: 220 V, 50/60 Hz, 107.364 kVA
2014 vintage.
ウェットステーションとしても知られるRISEウェットベンチは、半導体ウェハーの化学処理と液浸を必要とするウェットプロセスの半導体製造および研究施設で使用される特殊な実験装置です。ウェットベンチとは、ウェットケミカル加工用に設計されたラボワークステーションのことで、エッチング、洗浄、表面処理のための様々なケミカルバスやタンクがあります。RISEウェットベンチは、その高度な機能と高性能機能で知られるプレミアムグレードのウェット処理装置です。ウェットベンチには、構造的な安定性と耐薬品性を提供する堅牢なステンレススチールフレームが装備されており、安全で信頼性の高いウェット処理環境を保証します。このシステムは、幅広いプロセス化学およびアプリケーションに対応するように設計されており、研究環境と生産環境の両方に適しています。RISEウェットベンチは、通常、複数のケミカルバス、すすぎタンク、乾燥ステーションで構成されており、順次処理を行うことができます。ウェットベンチの主な特徴の1つは、温度、流量、プロセスのタイミングを正確に制御できる高度な制御ユニットです。このマシンには、一貫した正確なプロセス結果を保証する最先端のセンサーとモニタリングデバイスが装備されています。ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、オペレータはプロセスパラメータを簡単にプログラムして監視できるため、研究開発活動に最適なツールです。RISEウェットベンチは、ウェットエッチング、ウェハクリーニング、表面処理、化学成膜など、さまざまなプロセスモジュールに対応するように設計されています。各モジュールはツールに簡単に組み込むことができ、プロセス開発における柔軟性と拡張性を可能にします。ウェットベンチには、各プロセスモジュールに専用のケミカルラインと排気システムが装備されており、プロセスの純度を確保し、異なる化学品間の相互汚染を防止します。RISEウェットベンチは、高度な加工能力に加え、オペレータの安全性を考慮して設計されています。この資産には、安全インターロック、緊急停止メカニズム、および化学物質流出封じ込め機能が装備されており、事故や化学物質暴露のリスクを最小限に抑えます。また、ウェットベンチは、化学薬品の取り扱いと加工のための業界標準および規制に準拠するように設計されています。RISEウェットベンチは、シリコンウェーハのエッチング、フォトレジスト層の除去、ウェーハ表面の洗浄、薄膜の蒸着など、幅広い用途に使用されています。このモデルの高いスループット機能とプロセス再現性により、生産歩留まりを最適化し、高品質のデバイス性能を確保するための不可欠なツールとなります。全体的に、ウェットベンチは、幅広い半導体加工アプリケーションのための高度な機能、正確な制御、およびオペレータの安全性を提供する汎用性と信頼性の高いウェット処理装置です。堅牢な設計、柔軟性、性能を備えているため、ウェットケミカル加工の卓越性を追求する半導体の研究および製造設備にとって不可欠なツールとなっています。
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