中古 OHSUNG LST Aqua regia / MO #9392184 を販売中

OHSUNG LST Aqua Regia/MOは、ウエハ基板を加工するために設計されたOHSUNG LST Corporationによって製造されたウェットステーションです。ウェットステーションは、電解法を用いてウェハ表面を洗浄・エッチングし、その後の製造工程に備える。このウェットステーションは、マスクをかけずにウェーハを処理できるため、メモリストレージデバイスの製造に適しています。ウェットステーションは、酸性エッチングチャンバーと電解質処理セクションを備えた最初のモジュールである2つのメインモジュールで構成されています。酸エッチングチャンバーは、ウェーハの表面をきれいにしてから、塩酸と硝酸の非常に強い混合物であるアクアレジアを使用して基材をエッチングするために使用されます。電解質処理セクションは、ウェーハ表面の電気めっきや電気化学エッチングなどの電気化学処理に使用されます。2番目のモジュールは、電解液を含む混合容器であり、溶液中のさまざまな化学物質の濃度を制御するために使用されます。このモジュールに電解質の処置のための主要な変数の1つである温度の精密な制御を保証する精密な温度調節器があります。ウェットステーションは、産業用グレードの電源を使用して2つのチャンバーに電力を供給し、幅広いプロセスパラメータの動作を可能にします。このステーションは、温度、電圧、電流などのさまざまなプロセス変数をプログラムできる制御システムを使用して動作します。ウェットステーションには、オペレータと環境を保護するために設計された包括的な安全機能が組み込まれています。これらには、制限を超えた場合に自動的にプロセスをシャットオフする安全遮断システムと、有毒で腐食性の蒸気の排出を排除する発煙フードが含まれます。Aqua Regia/MOは、ウェーハ基板の加工において優れた結果を提供するように設計された先進的なウェットプロセスステーションです。その精密な温度および電圧制御、包括的な安全機能、高度なプロセス制御システムにより、メモリストレージデバイスの製造に最適です。