中古 MODUTEK QA14-DA1 #9081711 を販売中

MODUTEK QA14-DA1は、MODUTEK Corporationによって製造され、高度な半導体生産プロセスの多種多様で使用されるウェット加工ステーションです。QA14-DA1は200mmから300mmの間のサイズの基質を扱うことができ10,240平方インチの総工程区域を提供します。その他の特徴としては、深さ18インチのプロセスチャンバー、最大6つのカセットに対応するロードポート、規制ガス分配用のガスボックス、長寿命の膜移動ユニットなどがあります。ステーションの密封されたステンレス鋼の設計は生産プロセスの間に最高の効率を保障します。また、化学製剤、レジストストリップ、エッチング、クリーニング、乾燥など、さまざまな自動化プロセスを実行できます。これにより、ウェットステーションはウェハ製造、フォトマスク製造、およびその他のハイテク産業のアプリケーションに適しています。ステーションには、遠心ポンプと正の変位ポンプを組み合わせた強力な単相ポンプシステムが装備されています。このフレキシブルなシステムは、毎分10リットル、20リットル、30リットル、40リットルの4つの流量で化学薬品、液体、その他の材料を転送することができます。このシステムはまた、空気攪拌、エアサンプの泡、およびハイドロパルス操作などのいくつかの追加機能を提供します。ステーションは、厳格な廃棄物管理とユーザーフレンドリーを提供するように設計されています。一般的な廃棄物タンクの使用、複数の種類の廃棄物を管理する機能、廃棄物の量に関する継続的なフィードバックなど、廃棄物の処理能力の範囲をサポートしています。これにより、厳格な廃棄物管理プロトコルに従わなければならない大量のウェハ製造環境での使用に適しています。ウェットステーションはまた、高速でユーザーフレンドリーな操作を容易にします。ユーザーインターフェイスは、カスタマイズ可能なレシピ、自動バイタルパラメータ監視、および詳細なメンテナンス記録を提供します。さらに、モジュラー設計により、簡単なサービスとメンテナンスが可能です。全体的に、MODUTEK QA14-DA1は強力な機能と汎用性の高い性能を備えているため、さまざまな高度な半導体プロセスでの使用に適しています。