中古 LEYBOLD HERAEUS D16B #9355959 を販売中

LEYBOLD HERAEUS D16Bウェットステーションは、半導体およびマイクロエレクトロニクス用途向けに設計された高度で高性能な静止エッチング装置です。高いエッチング速度で精度の高い微細構造をエッチングすることができます。このシステムには、高度なプロセス監視、自動チューニング、バッチ処理、ユーザー定義のエッチレシピ、プロセス履歴ログなど、さまざまな機能が装備されています。LEYBOLD HERAEUS D1,6Bの信頼性の高い高容量ポンプにより、エッチングソリューションを1時間に最大450リットルで処理できます。このユニットは、溶媒、MAエッチング、アンモニアベースのソリューションを含む幅広いエッチング化学物質を処理することができます。非常に効率的なポンピングマシンはまた、速く信頼性の高い材料の放出を保証し、水破断タンクの必要性を防ぎます。このツールには、エッチングパラメータを正確に制御する高度な監視および制御モジュールが装備されています。処理される材料に応じてエッチング速度とパラメータを調整し、予測可能なエッチングプロセスを維持する自動チューニング（AT）を提供します。また、エッチングレシピごとにエッチング結果とパラメータを記録する強化されたプロセスロギングアセットも備えています。すべてのプロセスインスタンスは、エッチングされた各ウェーハのパラメータと履歴情報を確認するためのモデルログに保存できます。装置はまたバッチ処理機能を提供します；エッチジョブをD1.6Bに入力することができ、システムは1つのプリセットバッチ内で各ジョブを自動的に処理します。これは時間を節約し、プロセスの再現性を高く保つのに役立ちます。また、ウェットステーションD16Bは、高い信頼性と安全性のために設計されています。ステーションのコンポーネントはIP44に認証されており、誤った動作や危険な化学物質の放出を防ぐために、さまざまな安全機能がインストールされています。ステーションには、緊急事態に対処するためのさまざまなアラームと警告信号が含まれています。結論として、D1,6Bウェットステーションは、優れたプロセス再現性と高品質の精密な微細構造を生成することができる高度なエッチングユニットです。プロセス制御、オートチューニング、バッチ処理、ログストレージなど、さまざまな機能により、さまざまな半導体およびマイクロエレクトロニクス用途に適しています。