中古 LAM RESEARCH DV Prime #9119740 を販売中

LAM RESEARCH DV Prime
ID: 9119740
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Wet station, 12" 2007 vintage.
LAM RESEARCH DV Prime Platformは、半導体業界内のさまざまなアプリケーションでプロセスとパフォーマンスを向上させるために設計されたウェットステーションです。多くの同時作業に対応でき、幅広いアプリケーションに柔軟性と高いスループットを提供します。この機器はD-Viewパッケージに組み込まれているため、ユーザーはツールのダウンタイムを減らし、あらゆるアプリケーションから最適なものを得ることができます。ウェットステーションには、手動および自動化されたツール操作を可能にするソフトウェアパッケージが含まれています。また、レシピを特定のプロセスに合わせて調整し、最適な結果が得られるようにすることもできます。これにより、エッチング、成膜、洗浄用途に最適です。DV Prime Platformは堅牢なデザインで、さまざまな革新的なコンポーネントを備えています。このシステムは、モジュラーマルチプロセッサユニットコントローラを使用して、分散制御アーキテクチャを介して複数のプロセスを正確に制御します。この制御機械は、電力、電気化学、電気機械、ガスおよび流体供給部品の広い範囲を動作させることができます。ウェットステーションには、プロセスを最適化しながら信頼性と精度を確保するために設計されたいくつかのコンポーネントもあります。パーティクル汚染を低減するクリーンチャンバー、オートメーションを容易にする真空トランスファーモジュール、効率的なサンプル積載のためのロードロックステーションなどがあります。リモートプラズマコントローラ、コールドウォール、アクティブサンプルカセットなどの専用チャンバーは、高度なプロセスに幅広い機能を提供します。さらに、このツールには柔軟な構成があり、カスタムパフォーマンスと他のほとんどの機器との統合を可能にします。これは、資産とさまざまなソフトウェアパッケージとの互換性と、複数のコントローラを1つのプラットフォームに接続する機能によって容易になります。OPC Serverでは追加機能がサポートされており、データストリーミングとユーザーフレンドリーなインターフェイスを高速化できます。LAM RESEARCH DV Prime Platformは、包括的で柔軟かつ効率的なウェットステーションをユーザーに提供します。また、信頼性が高く、使いやすく、専用のサービス担当者のチームによってサポートされています。このウェットステーションは、半導体プロセスにとって理想的な選択肢であり、価値のある投資となります。
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