中古 LAM RESEARCH DV-38DS #9095951 を販売中

LAM RESEARCH DV-38DSは、大容量のケミカルデリバリーとディスペンス、およびウェットプロセス用の真空チャックを組み合わせたウェットステーションです。このハイエンド機器は、大手半導体メーカーのウェットプロセスニーズを簡素化し、合理化するように設計されています。インテグラルカセットには、湿式エッチングおよび蒸着用途のために、指定された量の化学物質や排水をプロセス室に直接供給することができる統合されたケミカルデリバリーシステムが含まれています。直感的なユーザーインターフェイスにより、オペレータはプロセスチャンバーへの化学物質の流れと配送を制御することができます。これにより、ウェットエッチングおよび蒸着プロセスで最適なパフォーマンスを実現できます。DV-38DSには、頑丈な真空エアロックチャックが装備されています。この機能により、ユーザーは真空環境でウェーハを処理しながら、真空チャンバーにアクセスできるようになります。これにより、より高い歩留まりとプロセス性能の向上につながる処理パラメータの優れた制御が可能になります。さらに、チャックは、チャンバー環境の整合性を損なうことなく、ウェーハの迅速な再ロードを可能にします。メインバキュームチャンバーと加工チャンバー間のエアロックにより、ウェーハを簡単に移動できます。LAM RESEARCH DV-38DSはさらに、低コストで使いやすい温度制御ユニットを備えています。この機能により、ユーザーはチャンバー内の温度を簡単に管理でき、あらゆるプロセスで最適な性能を確保できます。さらに、このマシンはチャンバー内の低静的ガス圧力をサポートし、追加のメンテナンスまたはガス供給用の追加機器の必要性を低減します。全体として、DV-38DSは高度なウェハ処理に必要なすべての機能を単一のツールで組み合わせた汎用性の高いウェットステーションです。ケミカルデリバリーから温度制御、真空制御まで、幅広い機能を提供します。この資産は、主要な半導体メーカーのニーズを満たすように設計されており、パフォーマンスを最大化し、高い歩留まりを保証することができます。