中古 KC TECH KCT-W300F #293757180 を販売中

KC TECH KCT-W300F
ID: 293757180
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
PR Stripper, 12" Process flow: SPM / LAL / SC1 2008 vintage.
KC TECH KCT-W300Fは、制御された環境で精密な洗浄と表面処理を必要とする半導体製造プロセス向けに設計された最先端のウェットステーションです。このウェットステーションは、半導体業界に求められる高水準の清浄度と信頼性に対応するために細心の注意を払って設計されており、半導体製造設備には欠かせないツールとなっています。ウェットステーションの主な特徴の1つKCT-W300F、モジュール設計です。これにより、カスタマイズと拡張性が容易になり、異なる半導体プロセスの特定の要件を満たすことができます。ウェットステーションには、洗浄、洗浄、乾燥、化学処理などの複数のプロセスモジュールが装備されており、幅広いプロセスシーケンスに対応するためにさまざまな組み合わせで構成することができます。KC TECH KCT-W300Fウェットステーションのクリーニングモジュールは、高効率で均一な半導体基板から汚染物質や残留物を除去するように設計されています。超音波洗浄、メガソニッククリーニング、スプレークリーニングなどの高度な洗浄技術を備えており、基板表面からの粒子や膜を損傷や欠陥を引き起こすことなく徹底的に除去することができます。ウェットステーションの洗浄モジュールは、洗浄後の基板表面の清潔性を確保するために不可欠です。高純度の水再循環システムと濾過ユニットを備えており、超清浄な洗浄水を提供して、基板表面から残りの不純物や残留物を取り除き、それが手付かずでさらなる処理の準備ができています。ウェットステーションの乾燥モジュールKCT-W300Fは、熱風吹き、赤外線、スピン乾燥などの高度な技術を使用して、透かしや汚染物質を残さずに基板表面を迅速かつ効果的に乾燥させます。これにより、基板が完全に乾燥し、次の工程に進む前に水分を含まないことが保証されます。基本的な洗浄、洗浄、乾燥モジュールに加えて、KC TECH KCT-W300Fウェットステーションには、さまざまな化学ソリューションを適用することで基板の表面改質と機能化を可能にする化学処理モジュールがあります。このモジュールには、精密投与システムと温度制御された浴室が装備されており、さまざまなプロセス要件に対応する正確で再現性のある化学処理を保証します。KCT-W300Fウェットステーションは、すべてのプロセスパラメータと制御設定に簡単にアクセスできるユーザーフレンドリーなインターフェイスで設計されています。高度な監視および診断システムを備えており、プロセス条件を継続的に監視し、逸脱や異常をユーザーに警告し、一貫した信頼性の高い操作を保証します。全体として、KC TECH KCT-W300Fウェットステーションは、高度な半導体デバイスの高品質で信頼性の高い洗浄と表面処理を実現しようとする半導体メーカーにとって最先端のソリューションです。モジュール設計、高度な洗浄技術、精密なプロセス制御機能により、幅広い半導体加工アプリケーション向けの汎用性と効率性に優れたツールです。
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