中古 JST ST0142A0 #9188197 を販売中

JST ST0142A0ウェットステーションは、半導体製造プロセス向けに設計された自動ウェット加工装置です。このシステムは優れた品質管理を提供し、他の半導体加工装置と統合することができます。ST0142A0はメインフレーム、エンドステージ/フォーステーブル、ウェットプロセスアーム、コントロールモジュールの4つの主要コンポーネントで構成されています。メインフレームは、エンドステージ/フォーステーブルとウェットプロセスアームを収納し、軽量アルミ合金材料で構成されています。その堅い設計は騒音伝達を最小にし、信頼性を保障します。エンドステージ/フォーステーブルは、平均速度0。25 m/sの3軸に沿って移動することができます。X軸は左右の動きを提供し、Y軸は上下の動きを提供し、Z軸は力と傾きを提供します。適用される力は0-1000 kgfから調節可能です。さらに、エンドステージ/フォーステーブルは、平均速度0。31m/sの単軸で回転することができます。ウェットプロセスアームは、4軸のムーブメントを持つアルミフレックスアームで構成されています。これには、平均速度が3mm/s、到達速度が200mmのX/Y軸、平均速度が2 度/s、到達速度が20度のロール/チルト軸が含まれます。ウェットプロセスアームは、最大3kgの力を自動調整することができ、また、洗浄材料の正確かつ正確な計量のための4つのノズル流動弁が装備されています。JST ST0142A0ウェットステーションの制御モジュールには、手動およびソフトウェアベースの操作が含まれています。手動モードでは、ユーザーは手動ですべてのぬれたプロセス機能を制御できます。ソフトウェアベースの操作により、ユーザーはさまざまな自動ウェットプロセスレシピをプログラムし、汚染レベルを分析および制御し、さらにウェットプロセスをカスタマイズすることができます。ST0142A0ウェットステーションは、洗浄や表面処理など、半導体製造プロセスに関わるさまざまな用途に適しています。このユニットの最適化された設計と優れたオートメーション機能により、信頼性と高品質のウェット加工機を求めるユーザーにとって理想的な選択肢となります。