中古 IMTEC STAR 2000 #9399876 を販売中

IMTEC STAR 2000ウェットステーションは、高度な半導体加工のための高性能で汎用性の高い機械です。エッチング、スパッタリング、クリーニング、蒸着、酸化物研磨など、さまざまなハイスループットプロセスに適しています。ウェットステーションには、強力なXYZ制御の位置決め装置が装備されており、生産性と高性能を保証するように設計されています。このシステムには、ダブルアームムーブメント付きの液体ディスペンサーも装備されています。水中ヘッド、水平アーム、垂直アームで構成され、目的の位置に移動してウェーハを進行させます。ウェットステーションは、電動ボリュームフィーダを使用して、正確かつ自動投与を可能にします。ウェットステーションはまた、ステーションの機能を制御するように設計されたプログラム可能なマイクロプロセッサを備えています。これにより、さまざまな種類のフィルムやプロセス関連のパラメータを簡単に設定することができます。さらに、ウェットステーションには、より正確な処理のために、温度、圧力、およびその他のパラメータを記録および表示できるマイクロSPCがあります。ウェットステーションには、有害物質の流出を検出および防止することができる高度な安全ユニットが装備されています。また、窒素、酸素、アルゴンなどの反応性および腐食性ガスの分散のための窒素発生器を備えています。ステーションには廃棄物収集機があり、様々な湿式処理段階から排水を捕獲し貯蔵する。さらに、ウェットステーションにはスイッチング電源が装備されており、均一で信頼性の高い電源を提供します。また、自動温度補償ツールを備えているため、環境がどのようなものであっても、処理条件が常に一貫しています。STAR 2000ウェットステーションは、高度な半導体加工のための非常に効率的で費用対効果の高いツールであり、さまざまなウェット処理タスクに使用できます。豊富な高度な機能とユーザーフレンドリーなデザインにより、降水、エッチング、スパッタリング、クリーニングプロセスをお探しのお客様に最適です。