中古 GTX Wet bench #9384190 を販売中

GTX Wet bench
ID: 9384190
Shield cleaning system.
GTXウェットベンチは、半導体ウェハ加工用に設計されたウェットステーションです。半導体製造業の中核部品の一つであり、化学試薬の封じ込めと安全な配送を可能にします。GTXウェットベンチは、汚染を最小限に抑え、さまざまな種類の電子材料の処理を容易にし、必要な操作を正確に実行するように設計されています。GTXウェットベンチは、いくつかの主要コンポーネントで構成されています。典型的には、前処理室、プロセス室、後処理室の3つのセクションに分かれています。各チャンバーは、特定の操作を実行するように設計されています。すべてのチャンバーは密閉され、ウェットステーションの各セクション間の環境汚染を低減するために避難します。前処理室では、前処理が必要なウェーハを加工します。このプロセスでは、水酸化アンモニウム溶液などの洗浄物質でウェーハを処理し、表面から有機および無機汚染物質を除去する。処理されたウェーハはプロセス室に移動されます。プロセスチャンバーでは、手元のタスクの特定の要件に応じて、さまざまなプロセスを実行できます。これには、分散プロセス、酸化プロセス、蒸着プロセス、または化学蒸着が含まれます。最後に、後処理室では、ウェーハはいくつかの避難と乾燥ステップを受けます。これには、クリーンルームの安全な環境での冷却とチャンバーの除湿が含まれます。このプロセスが完了すると、ウェハは製造プロセスの次のステップに進む準備ができています。ウェットベンチは、安全性と信頼性の高いレベルで設計されています。すべてのプロセス部屋に塵および異物の厳密な制御を保証する十分なサイズおよびステンレス鋼材料の安全ドアがあります。ドアには、エンクロージャ内のサイクルタイムと圧力を自動的に制御する安全制御システムが装備されています。オペレータが割り当てられたパラメータの上で動作しないようにするために、中央監視システムも設置されています。要するに、GTXウェットベンチは、さまざまな種類の電子材料の必要な処理を提供するように設計されたウェットステーションです。それは前処理、プロセスおよび後処理のための別の部屋を特色にする最前線で安全そして信頼性と造られます。正しい知識とメンテナンスにより、ウェーハやその他の電子材料を効率的かつ正確に処理する手段を提供することができます。
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