中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Aries #9384182 を販売中

FSI （TEL） FSI/TEL/TOKYO ELECTRON牡羊座は、半導体業界で使用される湿式ステーションの一種です。これは、製造プロセス中にウェーハをきれいにし、洗浄し、エッチングするために使用される非常に効率的なツールです。内蔵のモジュール設計により、最大効率で最大5つの200mmまたは4つの300mmウエハを取り扱うことができます。FSI牡羊座ステーションは、暖房シャワーユニット、セントラルタッチコントローラ、クリーニングユニット、エッチユニットの4つの主要コンポーネントで構成されています。暖房シャワーユニットは、オペレータによってトリガーされる一連のガスジェットで構成されています。これらのジェット機は、脱イオン水、脱イオン化アルコール、またはエチャントなどの所定の洗浄媒体の高圧ジェットを放出して、ウェーハ表面を徹底的に洗浄します。中央タッチコントローラは、オペレータが簡単かつ精密に暖房シャワーユニット、クリーニングユニット、およびエッチングユニットを制御することができるフラットスクリーンモニターです。クリーニングユニットは、モデルに応じて最大5つ（200mm）または4つ（300mm）のウエハを収容する回転スピンドルを備えた拡張可能な容器です。回転速度、圧力、およびpHのレベルはプロセスの必要性に合わせて調節可能であり、クリーニング媒体はエチャントまたは脱イオン水である場合もあります。クリーニングユニット内のウェーハは、外部容器によって安全に回収されるクリーニングメディアの高圧ジェットにさらされます。エッチングユニットは、すでに徹底的に洗浄されているウェーハをエッチングするために使用される高圧シャワーシステムです。主な成分は、エッチングの高圧ジェットを噴射するシャワーヘッド、エッチングをユニットに引き込むベンチュリシステム、エッチング時間を調節するガス流量制御です。エッチユニットはユーザーフレンドリーかつ効率的に設計されており、オペレータはウェーハを効果的かつ正確にエッチングすることができます。結論として、TEL牡羊座は、ウェーハをきれいにし、洗浄し、エッチングするように設計されたウェットステーションです。これは、効率と安全性を最大化するために一緒に動作する4つの主要なコンポーネントで構成されており、使いやすく、操作するように設計されています。このウェットステーションは半導体産業の重要なツールであり、製造プロセスをより迅速かつ正確にするのに役立ちます。