中古 ENTEGRIS Box cleaner #293667203 を販売中

ENTEGRIS Box cleaner
ID: 293667203
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
12" 2003 vintage.
ウェットステーションとしても知られるENTEGRIS Boxクリーナーは、半導体や太陽光発電の製造に使用される自動化装置です。洗浄性能のばらつきを最小限に抑え、一貫したプロセス結果を提供することができます。ボックスクリーナーの主な目的は、半導体プロセスボックスの内部表面をきれいにすることです。ENTEGRISボックスクリーナーは、作業室、コンベア、スプレーアセンブリで構成されています。スプレーヤーアセンブリは、ポンプ、循環配管のセット、およびフィルターアセンブリで構成される再循環システムと統合されています。スプレーヤーアセンブリがプロセスボックスの内部の目標とされた区域にクリーニングの解決を吹きかけるのに使用されコンベヤーがぬれた場所を通ってプロセスボックスを動かすのに使用されています。プロセスボックスが作業室に入ると、ボックスクリーナー操作を行うための正しい位置にコンベアに配置されます。コンベアは箱を作業室に運びます。プロセスの間に、ノズルは箱のターゲット表面のクリーニングの解決を吹きかけ、再循環の単位は解決が一定した温度で再使用され、保たれることを保障します。洗浄プロセスが完了すると、リフトプラットフォームがコンベアからボックスを持ち上げ、乾燥ステーションに持ち上げます。箱は箱から湿気を取除くのを助けるノズルを通して圧縮空気を使用して乾燥されます。ENTEGRIS Boxクリーナーを使用することで、保管されている部品や部品に一貫してクリーンな表面を提供することで、プロセスボックスの清潔性と信頼性を向上させることができます。再循環機械はまたクリーニングプロセスから発生する廃棄物を減らし、最終的にお金と資源を節約するのに役立ちます。この自動化ツールは、半導体プロセスボックスの内部表面を洗浄するための効率的かつ効果的なソリューションです。
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