中古 DNS / DAINIPPON WS-820L #9399270 を販売中
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ID: 9399270
Wet station
Main body
Loader
Robot
Power box
Computer
Hapa
Transformer
2011 vintage.
DNS/DAINIPPON WS-820Lは、DNSスクリーン株式会社が開発したウェットステーションで、効率的で信頼性の高いリソグラフィーサービスをユーザーに提供します。ウェハレベルのエッチング、フォトリソグラフィ、アニーリングプロセスに最適なソリューションです。DNS WS820Lは、幅広いリソグラフィ作業において優れた性能と能力を提供する最先端のマシンです。コア技術は、最高級のスキャン装置を搭載した高精度ステージを採用し、マスクへのウェーハの正確なアライメントを実現しています。これにより、あらゆるサイズのウェーハの精密エッチングおよびリソグラフィ作業に最適です。大日本WS 820Lには、フォトマスクとレチクルをシームレスかつ正確に同期させる完全自動フォトマスクアライメントマシンと、プログラム可能なオーバーレイ制御システムが搭載されており、正確で再現性の高いオーバーレイアライメントが可能です。機械はまた余分な緊張か積み過ぎから機械を保護するためのエネルギー感覚の特徴が装備されています。WS820Lはまた効果的にきれいになり、乾燥した、ぬれた場所を維持できる高度のクリーニングの単位が装備されています。ドライステーションには、バブルクリーニングとエアシャワークリーニング機能が内蔵されており、フォトリソグラフィやアニーリングなどのプロセスに理想的なクリーンで汚染のない環境を確保するのに役立ちます。ウェットステーションには、ウェーハの自動乾燥のための脱イオン水も装備されています。DAINIPPON WS-820Lはユーザーフレンドリーなマシンであり、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、ユーザーはステーションのパラメータを設定し、プロセスを監視し、さまざまなレポートおよび分析ツールにアクセスすることができます。このマシンは、検出と自己診断機能、ならびに機器に問題が発生した場合に即座にユーザーに通知することができる内蔵のアラートマシンで、信頼性が高いように設計されています。結論として、DNS WS-820Lは、ウェハレベルのエッチングおよびフォトリソグラフィープロセスにおいて、精度、信頼性、効率を提供するように設計されたウェットステーションです。高度な機能と直感的なGUIにより、このステーションはリソグラフィーサービスを最適化し、製造コストを削減したいユーザーに最適です。
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