中古 DNS / DAINIPPON WS-820L #9391878 を販売中

DNS/DAINIPPON WS-820Lウェットステーションは、高度な半導体技術の高精度リソグラフィと加工に使用される最先端の半導体装置です。このシステムは、半導体加工システムのメーカーであるDNSと半導体材料メーカーの大日本が共同開発し、最高品質のウェーハ露出結果を提供しています。DNS WS820Lでは、電子ビームやダイポールイルミネーションなどの高度な高解像度リソグラフィ技術、電子ビームスキャンおよびパターニングを利用して、特徴定義の大幅な改善と比較的大きなオーバーレイを実現しています。6軸ハイブリッドeビームユニットを備えており、非常に広い露出領域で優れたプロセス均一性を提供します。ハイブリッドマシンはまた、線量スライダーやその他のパラメータの優れたオンザフライ管理性を可能にし、プロセス精度と再現性を向上させます。ツールの機能が強化されているため、露出時間が短縮され、生産性が向上します。このアセットはさらに、ハイグレードなオートメーションキャパビライトを提供し、大規模および小規模のウェーハ露出オペレーションに適しています。電動XYステージドライブ、軽量安全ドア、プログラマブル自動ステージドライブ、自動化されたWaferMoverモデルまたは手動XYステージモーション、手動ウェハハンドリングオプションを備えています。また、ウェットプロセスステーションとハンドリングユニットの自動化、高解像度エッジビジョン装置、精密ウェーハイメージング用の高精度ビジョンシステムを搭載しています。また、ダイニッポンWS 820Lは、ウェーハを正確に読み取り識別する独自のウェーハIDセンシングユニットを提供し、クロスコンタミネーションや複数の処理アンダークリーニング作業を防止します。さらに、レーザベースのタッチポジションセンサを搭載し、精密な基板処理、精密な温度制御用の温度コントローラ、精密なプロセスパラメータと制御用のカスタムコントローラを備えています。また、KSC-77フォトレジストをはじめとする様々なウェットケミカルに対応し、2インチから12インチまで様々なウエハサイズに対応しています。全体的WS-820Lウェットステーションは、最高品質のウェハ露出結果を提供するために開発された高度で汎用性の高い半導体加工ツールです。さまざまなオートメーション機能を備え、ウェットプロセスとハンドリングシステムを自動化しており、大規模および小規模のウェーハ露出オペレーションを提供します。さらに、ウェーハIDセンシング資産やその他の高精度プロセス制御コンポーネントを備えており、ユーザーは正確かつ再現性の高い結果を得ることができます。