中古 DNS / DAINIPPON WS-820L #293814766 を販売中

DNS/DAINIPPON WS-820Lウェットステーションは、半導体紫外線フォトレジストの加工用に特別に開発されたステーションです。洗浄、スピンコーティング、浸漬、ベーキングといった様々な工程機能を備えたコンパクトなウェットステーションで、洗濯サービスも充実しています。ウェットステーションは、手動および自動化されたプロセスの両方に使用できます。DNS WS820Lは、ベースユニット、プロセスステーション、ウォーターシンク、フィルターシステムで構成されています。ベースユニットには、ステーションを簡単に操作できるLEDコントロールパネルがあります。プロセスステーションには複数のタンクがあり、さまざまなフォトレジスト、液体、溶剤を扱うように設計されています。流し台は、オーバーフロー制御と廃棄物処理を容易にします。フィルターシステムはステーションで使用するためにきれいで、ろ過された液体の解決を保障します。DAINIPPON WS 820Lには8 インチカラーLCDタッチパネルが搭載されており、プロセスを簡単に監視および制御することができます。タッチパネルには、可聴アラーム、LEDコントロールパネル、プロセスパラメータの遠隔監視が含まれています。ウェットステーションにはプログラム可能な機能も含まれており、ユーザーがカスタムプロセス制御とスケジューリングを行うことができます。ステーションは、オペレータのスキルレベルに関係なく、一貫した洗浄とコーティングの結果を提供するように設計されています。それはクリーニングおよびコーティングの結果および精密コーティングの厚さ制御の優秀な均等性を提供します。また、複数のウエハサイズとタイプのフォトレジストおよび溶剤の急速な変更を可能にします。DNS/DAINIPPON WS 820Lは、1台につき最大3枚のウェーハを同時に処理することができます。効果的なレジスト除去のための高度なパルス放電洗浄ユニットが装備されています。ウェットステーションには、液体と気体溶媒の両方の温度制御を正確に行う温度制御システムもあります。WS 820Lウェットステーションは、さまざまな半導体フォトレジストやその他の材料の処理に最適です。また、さまざまな自動プロセス機能を提供し、高品質のウェーハと集積回路を製造することができます。湿式ステーションは一貫した精密なプロセス結果を保証し、クリーンルームおよび実験室の環境のための理想的な選択です。