中古 DNS / DAINIPPON WS-820C #9364372 を販売中
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DNS/DAINIPPON WS-820Cウェットステーションは、半導体集積回路（IC）の効率的かつ費用対効果の高い生産のために特別に設計された高度なシングルタンクウェットプロセス装置です。このシステムは、エッチング、クリーニング、スプレー、蒸着など、さまざまな湿式工程に適しています。駅は、メインプラットフォーム、チャンバー、メインキャビネット、コントロールコンソールで構成されています。主要なプラットホームは主要な処理区域で、異なったプロセス条件に基づいてカスタマイズすることができるいろいろなプロセスモジュールを収容できます。チャンバーエンクロージャは、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーン制御コンソールを介して監視および制御されるエッチングや沈着などの化学プロセスを収容します。メインキャビネットには、ソフトウェア制御のケミカルフローアダプタ、ドライエアポンプ、ケミカルヒーターなどの主要なワークフローコンポーネントが収納されています。制御キャビネットは化学プロセスのための必要な変数を調整できる高度のデジタル温度および圧力監視の単位が装備されています。また、エッチングプロセスの安定性と精度を確保するために、電気化学インピーダンス分光（EIS）監視機を使用しています。また、制御キャビネットには一連のポンプが組み込まれており、ヒーターに化学物質を迅速に供給し、正確な温度制御とリアクタント補充を行うことができます。このツールには、処理中の部品を検査するために使用できる高度な画像解析ソフトウェアも含まれています。DNS WS-820C湿式ステーションは、水酸化アンモニウム、水酸化ナトリウム、塩酸ナトリウム、クロム酸、硫酸、硝酸、その他の酸性溶液など、さまざまな種類の湿式化学物質を扱うことができます。ステーションのコンポーネントは耐食性があり、最適な性能で何年も動作するように設計されています。メンテナンスコストが低く効率性が高いため、予算やプロセス要件が限られた職場に最適です。
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