中古 DNS / DAINIPPON WS-820C #9152514 を販売中
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ID: 9152514
ヴィンテージ: 1995
Wet station
Load
CHCL Shower N2 blow
DHF
Q Etch
EDR
IPA Dryer
Unload
1995 vintage.
DNS/DAINIPPON WS-820Cウェットステーションは、高品質のウェーハ加工を完了するために必要なウェットベンチ機器です。それは最高の効率、最低オペレータ相互作用および反復可能な、非常に正確な結果を達成することを目的に設計される完全に自動化された、単一または二重場所、精密制御されたぬれた処理装置です。ハードウェア構成には、合金ステッパー、両面モータプラットフォーム、2つのマニホールドおよびウェットプロセスタンク、バックサイド脱イオン（DI）リンスタンク、およびプロセスサイクルごとに複数のウェハを処理するための統合搬送システムが含まれます。単位は優秀な温度および化学解決の安定性、また優秀な機械制御を提供するために設計されています。プログラマブルなウェーハインデックスとネストされたウェーハハンドリング、同期低流量および高圧動作、ウェーハとキャリアの両方のハンドリングのポジショナー、インクジェットウェーハ識別、および手動および自動モード、故障検出、回復機能を含むデータを制御するための完全なデジタルツールを備えています。この両面プラットフォームは、複数のウェーハ処理用の統合コンベアを備えており、大きなプロセスとリンス・タンクとともに機能し、直線移動機能を提供し、高精度の動きと再現性の制御を可能にします。また、DIタンクを内蔵し、ウエハの裏側圧力を利用して、ウエハがタンク表面に付着しないようにし、手動操作も可能です。内蔵されたオンボードコンピュータは、プロセスレシピでモデルを完全に制御し、完全なトレーサビリティとプロセスパラメータのより良い制御、ならびに障害検出、緊急停止、フローおよび圧力監視および回復機能を可能にします。ミスイベント防止およびトラッキングシステムには、完全な検証機能も備えています。DNS WS-820Cは、STATS、 CALC、およびMPSなどの世界で最も人気のあるソフトウェアスイートと完全に互換性があり、レシピの準備と実装のための有効性を提供します。手動操作と自動操作の両方のための完全なレシピライブラリは、時間後に再現可能な結果を得る機会を提供します。ウェットステーションは、3つの異なるモデルDAINIPPON WS820C、 WS-820CR、 WS-820Wで提供されています。DNS/DAINIPPON WS820Cモデルは、ウェーハ洗浄用に特別に設計されており、RJSTX-200スタンドはウェーハ露出プロセスに最適です。WS-820Wパッケージには、統合されたウェーハチャッキング装置、ガスキャビネット、補助コントローラ、およびさまざまな空気圧制御ユニットが含まれています。
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