中古 DNS / DAINIPPON SU-3200 #293617642 を販売中

ID: 293617642
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2014
Wafer cleaning system, 12" Process : Spray clean Chemical: SC1 / DHF / H2SO4 / O3 (12) Chambers Factory interface: (4) FOUP KAWASAKI High speeds IR / CR handler 2014 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3200湿式ステーションは、DNSが開発した高度な湿式加工装置で、より高精度な加工性能を実現しています。エッチング、クリーニング、コーティング、乾燥など様々なウェット加工に使用されるウェットステーションです。DNS SU-3200は、半導体グレードのエッチングタンク、ダブルチャンバーCPTコーティング装置、高度な洗浄乾燥部品、フォトレジスト開発/ストリップシステムなど、高度な処理能力を備えた幅広い高度なウェット処理モジュールを備えています。IEC (International Electrotechnical Commission)の要件に準拠しており、生産出力の精度と再現性を向上させています。DAINIPPON SU 3200は、湿式加工条件の多くを自動化し、一貫した品質の結果を保証する高度に自動化された湿式ステーションです。例えば、エッチングユニットには、各プロジェクトの要件に基づいてさまざまなエッチングソリューションを設定できるさまざまなインテリジェントパラメータが含まれています。また、工具モニタ機を搭載し、ライン/負荷変動や湿度などのデータを継続的に監視・表示します。DNS SU 3200には、エッチング温度を制御し、汚染のないソリューションを確実にすることができる浄水および再循環ツールが装備されています。それはまた安全インターロックおよび警報との安全のために設計され、化学気孔率およびしぶきに対する保護を提供します。さらに、独立した湿式加工と乾燥条件が可能で、より効率的な加工が可能です。SU 3200はコンパクトで設置や操作にも柔軟性があり、操作しやすいユーザーインターフェイスを備えているため、濡れたプロセスをシームレスに操作できます。その他の機能としては、トレーサビリティアセット、カスタマイズ可能な出力データフォーマット、リモート診断などがあります。SU-3200ウェットステーションは、精度、精度、安全性、再現性が不可欠な半導体ウェット処理アプリケーションに最適なソリューションです。包括的なさまざまな機能と高度な自動化を提供し、信頼性と再現性の高い結果により、生産ニーズを迅速かつ効率的に満たすことができます。
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