中古 DNS / DAINIPPON SU-3200 #293591976 を販売中

DNS/DAINIPPON SU-3200ウェットステーションは、信頼性と性能を念頭に設計された先進的な真空ウェハ加工装置です。レジストコーティング、開発、洗浄、エッチング、洗浄など、幅広いウェットプロセスに適しています。強力な自動ローディングシステムで構築されたこのウェットステーションは、基板の手動処理の必要性を排除し、正確で反復可能なアプリケーションプロセスを提供します。このユニットの中心には、DNSベルトドライブモーターとモーションコントロールサーボマシンがあります。これにより、ローディングおよび加工部品の正確かつ再現可能な動作が可能になります。ウェーハトランスポートアームは、双方向の電動スパンと高度を備えており、高スループットで可動範囲を調整できます。リニアアクチュエータとロータリーアクチュエータは、さまざまな速度で制御された反復可能な動きを提供します。このツールには、マルチポジションのスピンチルトプロセスモジュールを備えた4段階のプロセスチャンバーが含まれています。このチャンバーは、複数のプロセスソリューションのための3つの個々の貯水池を提供し、プロセスガスを最適に制御し、プロセス発煙を効率的に除去するためのカバーガス絶縁弁を提供します。さらに、調節可能なエアナイフのセットは、スピンドライ時間を短縮し、ウェーハスループットを向上させるクロスフロー乾燥を提供します。安全性を向上させるために、DNS SU-3200ウェットステーションには、ウェーハの取り扱いを監視し、コンベア上の破片の存在を検出する高速光検出器が装備されています。このアセットには、温度、スピン速度、チャンバー圧力などのプロセスパラメータを監視する自動負荷監視およびプロセス制御モデルも含まれています。さらに、レジスト監視装置とリモートコントロールパネルにより、オペレータはシステムのリアルタイム制御を提供します。DAINIPPON SU 3200ウェットステーションは、信頼性と再現性に優れた真空ウエハ加工ユニットです。パワフルなモーターとモーションコントロール、自動ローディングマシン、プロセス監視ツールにより、幅広いウェットプロセスに対して効率的かつ安全なソリューションを提供します。