中古 DNS / DAINIPPON SU-3100 #9208159 を販売中

DNS/DAINIPPON SU-3100は、半導体業界で使用されるウェーハなどの基板を最大限に処理するために設計されたウェットステーションです。直径450mmまでのウェーハ処理が可能で、シングルウェーハとデュアルウェーハの両方で精密かつ均一なエッチングが可能です。ステーションは、中央処理タンクと内部コンポーネント、ウェーハ輸送ロボット、制御装置など、いくつかの部品で構成されています。中央処理タンクはステンレス製で、3000rpmの速度で磁気的に攪拌されます。統合されたスクレーパーはすべての材料が十分に利用され、無駄にならないことを確かめます。タンクはウェーハソリューションを安全に取り外して交換するためにパージ可能で、最大5バーまで加圧できます。DNS SU-3100のウェーハ輸送ロボットは、その最も革新的な機能の1つです。ローディングエリアから中央処理タンクにウェーハを安全に移動させ、取り扱いを最小限に抑えるように設計されています。高度なフィードバックシステムを使用して処理タンクの内部をナビゲートする六脚ロボットが含まれています。ウェーハがしっかりと配置されたら、ロボットアームがそれらを操作します-それらを回し、それらのアライメントを調整し、エッチングのためにそれらを配置します。DAINIPPON SU 3100は、エッチングプロセスの精度と再現性を保証する強力な制御ユニットを備えています。このマシンには、エッチング処理を管理する最新のソフトウェアを搭載した産業用PCと、流速、温度、粘度、圧力などのパラメータを監視および調整するデジタルメーターのセットが含まれています。要するに、ダイニッポンは、半導体業界に最適化されたウェットステーションをSU-3100し、最高の精度で直径450mmまで材料をエッチングすることができます。ステンレス加工タンクは磁気的に攪拌され、パージ可能であり、ウェーハ輸送ロボットは安全で自動化されたハンドリングを提供します。最後に、その強力な制御ツールは、エッチング要件の広い範囲に合わせてプログラムすることができます。