中古 DNS / DAINIPPON SU-3100 #293778336 を販売中

DNS/DAINIPPON SU-3100は、マイクロエレクトロニクス製造プロセスで使用されるウェーハなどの基板の酸性エッチング用に設計されたウェットステーションです。様々な酸や基材に対応できるようカスタマイズ可能な多彩な構成の最先端ウェットステーションです。ステーションの設計は、プロセスの精度と自動化を可能にし、マイクロエレクトロニクスの生産における重要なコンポーネントとなっています。DNS SU-3100の中心には酸ノズル機構があります。このノズルは、基板上の特定の点を正確にターゲットにするために個別に配置することができる高精度のステンレススチールノズルの配列で構成されています。酸ノズル機構には、基板上の所望の点への酸の流れを調節する多数の流量センサーも含まれています。DAINIPPON SU 3100は、基板の対象領域に正確な量の酸を自動的に分配するスマート酸配送装置も備えています。このシステムは、望ましい酸濃度を検出し、適切な量の酸を分配する一連のセンサーを使用します。また、ウェーハの温度を監視して、正しい量の酸を使用し、ウェーハの過熱や過冷却を防止します。ダイニッポンSU-3100には自動クリーニングユニットも装備しています。この機械は各エッチング周期の後で酸の貯水池およびノズルアセンブリを浄化するように設計されています。工具を通して洗浄液を押す機械式ポンプと、液体から酸性粒子を除去するフィルターのセットで構成されています。洗浄資産も自己清算するように設計されており、サイクル間の汚染のリスクを低減します。DNS/DAINIPPON SU 3100には、自動安全モデルもあります。この装置は、安全パラメータのいずれかが違反された場合にオペレータに警告するように設計されています。それは警報を鳴らし、オペレータに警告し、必要に応じて、一時的にシステムをシャットダウンします。また、緊急時に酸の流出を抑えるために展開することができる安全シールドのセットを持っています。SU 3100は、強力で信頼性の高いウェットステーションで、マイクロエレクトロニクス製造プロセスに高精度で正確な結果を提供するように設計されています。酸ノズル機構、スマート酸デリバリーユニット、自動洗浄機、自動安全ツールを備えています。強力な設計と機能を備えたDNS SU 3100は、マイクロエレクトロニクス製造に最適です。