中古 DNS / DAINIPPON SU-3100 #293762489 を販売中

DNS/DAINIPPON SU-3100は、半導体チップ製造プロセスの強化と改善を目的としたウェットステーションです。化学機械研磨（CMP）、化学機械平坦化（CMP）、ウェハやチップの化学ウェット加工に使用されるコンピュータ制御装置です。このシステムは、人間の介入を最小限に抑えながら、非常に効率的で自動化された方法で湿式化学処理を行うことができます。このユニットは、最先端のウェーハコンベアベルトと、いくつかのサイドマウントロボットアームを備えた大型チャンバーを備えています。ロボットアームは、化学ウェット処理や平面化操作を正確に制御するだけでなく、半導体ウェーハやチップを移動させるために使用されます。機械の主要な部屋は温度、湿気および圧力センサーを含む複数のセンサーが、装備されています。このチャンバーには、複数の化学制御ステーションとコンピューター制御ディスペンシングツールが装備されており、濡れたプロセス中に適切な量の液体や溶剤を正確に制御して提供することができます。自動化されたプロセスに加えて、DNS SU-3100はウェーハとチップの性能の評価と監視を可能にする統合された測定および分析アセットも備えています。このモデルには、統合された顕微鏡、光学アレイ、検出されたデータを分析し、ウェハとチップの性能の正確なグラフを生成することができる統合ソフトウェアが含まれています。ウェットステーションには、ウェーハおよびチップ表面の画像をキャプチャして分析することができるデジタルイメージング機器も含まれています。このシステムは高精度で、ウェーファーやチップの表面粗さを測定することができます。最後に、このユニットには高度なプロセスコントロールマシンと統合されたデータロギングツールが含まれており、データを保存してデータを処理して報告し、さらに調査することができます。結論として、DAINIPPON SU 3100は、湿式化学および平面化プロセスの精密制御を提供する高度な湿式ステーションです。統合された測定・分析資産モデルとデジタルイメージングモデルは、正確なパフォーマンスデータと画像キャプチャ機能を提供し、統合されたプロセス制御機器とデータロギングシステムは、データを理解し、分析するための包括的なプラットフォームをユーザーに提供し、さらなる最適化を提供します。