中古 DNS / DAINIPPON SU-3100 #293757950 を販売中
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ID: 293757950
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Wafer cleaning system, 12"
Process: DNS-SU3100-8ch_BEOL_SWC (DHF 800:1 Process)
Index Robot
Shuttle Robot
Center Robot
(4) Front Opening Unified Pods (FOUP)
2008 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3100ウェットステーションは、半導体加工、フォトリソグラフィ、電子回路製造におけるアプリケーションのための包括的なウェットステーションです。ウェットステーションの高度なモデルで、製造および洗浄プロセス中に優れた精度、精度、効率を提供するように設計されています。DNS SU-3100ウェットステーションは、ウェット処理アプリケーションをサポートするように設計されたベースユニットと一連のモジュラーアドオンで構成されています。ベースユニットは多機能モジュール、制御コンソール、磁気テープドライブで構成されています。多機能モジュールは、ウェットステーションとエンドユーザーの間のメインインターフェイスを提供し、噴霧タンク、ケミカルバス、および化学再循環システムを含む構成することができます。コントロールコンソールを使用してウェットステーションの動作を制御し、温度、圧力、流量などの操作パラメータを選択して調整できます。磁気テープドライブは、ウェットステーションがプログラムを保存してリコールできるようにするために使用され、絶えず再プログラムする必要がありません。DAINIPPON SU 3100ウェットステーションのモジュラーアドオンを使用して、エンドユーザーの特定のニーズに合わせてステーションをカスタマイズできます。一般的なアドオンには、ケミカルデリバリーシステム、ケミカルバスプレヒーター、自動ウェーハタンブリング機構があります。自動化されたケミカルデリバリーシステムにより、ユーザーは手動で介入することなく、薬品を素早く簡単にロードおよびアンロードできます。ケミカルバスプレヒーターは、ケミカルバスシステムと再循環システムの温度を一貫したレベルで維持し、最適な性能を確保するために使用できます。最後に、自動化されたウェーハタンブリング機構は、ウェーハを浴室内で反転させるプロセスを自動化し、ウェーハのすべての側面が化学物質にさらされるようにします。DNS SU 3100ウェットステーションは、精度と精度が最も重要なアプリケーションで使用するために設計されています。このウェットステーションは、信頼性が高く、故障なく長期運用に耐えることができ、お客様に長年の信頼できるサービスを提供することを目的としています。モジュラー設計と多数のアドオンを備えたこのウェットステーションは、さまざまなユーザーのニーズに合わせてカスタマイズすることができます。
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