中古 DNS / DAINIPPON SU-3100 #293595582 を販売中
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ID: 293595582
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
Wet station, 12"
HDI
CDS
UPS
No load ports
HDD
Damaged: PC Mother board
Power supply
2008 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3100は、半導体製造工程の統合においてお客様に堅牢で革新的なソリューションを提供するために特別に設計されたウェットステーションです。この装置は、精度、高速、費用対効果の高い操作により、非常に成功しています。SU-3000シリーズは、ジェットストリーム浄化システムを改良した高性能な自動洗浄ウェットステーションです。シングルダイテーリングプロセスやシングルウェーハ充填プロセスなどの用途に適しています。浄化ユニットは、ほこりなどの汚れを除去し、プロセス環境への影響を最小限に抑えます。高度なジェットストリーム浄化機に加えて、SU-3000には有機洗浄剤を使用した革新的な洗浄装置が付属しています。最大3Hzのスピードと1mm未満のヘッドギャップにより精度を向上させます。クリーニング装置は、高品質の半導体デバイスの生産を可能にするためにダウンタイムを削減します。このツールは、エッチング、めっき、蒸着、洗浄などの業界標準の半導体加工プロセス用に事前にプログラムされています。プロセス制御モジュールは、パラメータの正確な自動調整を提供します。これにより、各ステップの処理がすべての生産ラインで正確かつ均一であることが保証されます。DNS SU-3100には、顧客の要件を満たすために柔軟性を高めるように設計されたいくつかの機能もあります。熱ドリフトを低減し、安定したプロセス温度を確保するための可変8ゾーン加熱アセットが付属しています。さらに、このモデルには、プロセスで使用されるガスと試薬を効率的に混合するための調整可能なガス供給装置が付属しています。最後に、DAINIPPON SU 3100は実用温度範囲内の単位温度を保つ有効な冷却装置を備えています。これにより、過剰な熱によりプロセスの品質と精度が損なわれないようになります。従って、SU 3100は半導体産業の堅牢で、費用対効果が高く、正確なプロセスに最適な湿式ステーションです。
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