中古 DNS / DAINIPPON SU-3000 #9361457 を販売中

DNS/DAINIPPON SU-3000ウェットステーションは、半導体ウェーハやマスクなどの基板を効果的に製造するために設計された高性能プロセスツールです。このウェットステーションは、最新の技術の進歩を統合し、最高の精度の処理能力を提供します。DNS SU-3000ウェットステーションは、マイクロエッチングプロセスの精度を必要とするアプリケーションに最適です。また、信頼性の高いプラットフォームと標準的な業界慣行に合わせたプロセスを提供します。DAINIPPON SU 3000は、XY-Driveモジュールやブラシレススピンドルモータなどの高性能プロセスツールと機能を備え、高いトルク性能と振動を最小限に抑える高速スピンドルアセンブリを提供します。統合されたコントローラは、複数のウェハロットの手動および自動ロード/アンロード、および自動フロー制御のPLCロジックをサポートします。さらに、コントローラはプロセス監視をサポートしており、ユーザーはさらに処理する前にインラインウェーハの厚さを監視することができます。DAINIPPON SU-3000プラットフォームのコンパクトで人間工学に基づいた設計は、プラテン、フロントドア、エンクロージャを含むすべてのコンポーネントとシステムコンポーネントへの優れたアクセスを提供します。各システムには治具が付属しており、簡単な取り扱いと基板の自動積載が可能です。治具は、基板アライメントと複雑なプロセス制御のためのクランプとしても機能します。ウェットステーションは、クッションおよび遅延層リソグラフィ、エポキシ方向切断、化学機械平坦化（CMP）、ケミカルエッチングなど、幅広いプロセスをサポートしています。このユニットのファストロックプラットフォームは、処理中に基板が完全にレベルを維持することを保証します。DNS SU 3000は、化学スクラブ、化学研磨、過酸化水素の酸化など、さまざまな高性能の化学前処理も提供しています。SU 3000ウェットステーションは、ハイレベルのウェットプロセス解析に最適な機能とパフォーマンスを組み合わせて提供します。このプラットフォームは信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供し、幅広いウェット処理アプリケーションに最適です。