中古 DNS / DAINIPPON SU-3000 #9302273 を販売中

DNS/DAINIPPON SU-3000は、幅広い基板に高い生産性を提供するリソグラフィ製造に使用されるウェットステーションです。コンパクトで高速設計で、フォトマスクやデバイスの改良に最適です。精密に構築されたDNS SU-3000は、正確で反復可能な結果と優れた汎用性を提供します。8インチのメカニカルウェハハンドリング装置を備え、直径300mmまでのウェハに対応できるウェハステッピングシステムを備えています。Si基板スキャンおよびパターニングユニットは、サブミクロン制御を備えた高精度です。StepとRepeat光源を内蔵したハイエンドのFocusとExposure Headによって機械の精度が向上し、露出を素早く効果的に切り替えることができます。このツールの高精度な機械的治具設計は、高度なステップ精度とパターン分解能を提供します。このアセットには、ウェーハまたは部品を検査するためのCCDカメラも含まれており、自動検査または手動検査に使用できます。カメラは制御モデルと完全に統合されており、画像の表示と分析の正確な制御を可能にします。また、ステーションの作業を中断することなくシステムのクリーニングを可能にするクリーニングユニットに接続されているDIポンプも含まれています。大日本SU 3000は、エッチングや洗浄に使用できる硫化水素や過酸化水素ベースの薬剤など、幅広い薬品に対応しています。このワークステーションは、高精度で正確な性能を提供し、フォトリソグラフィ、印刷、および製造プロセスでの使用に最適です。簡単に拡張できるだけでなく、ウェットステーションも設定可能で、ユーザーは特定のニーズに合わせてユニットをカスタマイズすることができます。メンテナンスフリー設計のため、ウェットステーションの稼働には最小限の労力が必要です。また、ウェットステーションはランニングコストが低く、リソグラフィや製造プロセスにとって経済的なソリューションとなっています。