中古 DNS / DAINIPPON SU-3000 #9280925 を販売中

DNS/DAINIPPON SU-3000は、製造段階におけるマイクロエレクトロニクスデバイスのコーティングバックエンドプロセス用に設計されたウェットステーションです。ウェーハ表面が液体化学薬品や基板と接触するように真空環境で使用するように設計されています。DNS SU-3000は、化学または蒸着プロセス、スピンコーティング、ベーキング、冷却、および熱硬化を含む、統合されたマルチステップで柔軟な製造プロセスを使用します。これらのプロセスはすべて、デジタルコンピュータシステムによって制御されます。プロセスの各ステップは、デバイスの表面上に均一で一貫したコーティング品質を作成するのに役立つ液体環境で達成されます。噴霧された化学液滴は均等に分散され、不要な変化からの影響を最小限に抑えるために正確に調整することができます。ウェットステーションには、コンポーネントの重量を測定し、レシピパラメータを自動的に調整し、再現性を最適化できるロードセルがあります。プロセス中に収集されたデータは、将来使用するためにコンピュータメモリに記録されます。DAINIPPON SU 3000には、空気中の粒子を減らし、粒子サイズを調整するための層流システムが搭載されています。また、バックライトのLEDモニターを備えており、低照度条件での最低限の視認性を実現しています。ステーションは高度な安全機能を備えています。それに蒸気を調整し、偶然の液体の流出か露出から保護するのを助ける2つの調節可能なダイヤフラム弁があります。安全機能には、自動化された環境監視とアラームが含まれ、オペレータの安全を維持します。DNS SU 3000は、使いやすく、費用対効果が高く、信頼性の高いウェットステーションで、マイクロエレクトロニクス業界における成膜プロセスの効率と品質を向上させます。カスタマイズ可能なレシピパラメータ、高精度な重量調整、環境モニタリング、高いプロセス再現性を提供します。