中古 DNS / DAINIPPON SU-3000 #9221903 を販売中

DNS/DAINIPPON SU-3000は、半導体デバイスの製造に使用されるキャリア、ウェーハ、キヨなどの基板を洗浄するために設計されたウェットステーションです。ステーションは完全に自動化された機器であり、オペレータの注意を最小限に抑えた完全な操作が可能です。システムはタンク、出口の排水管の皿、泡の除去剤、液体レベルのコントローラーおよび流出警報から成っているタンクコンパートメントから成っています。タンクコンパートメントは、循環ユニット内のウェーハを処理する環境として機能します。ステーションの循環部分は、循環ポンプ、圧力と流量計、加熱回路、基板を収容するチタンチャンバーで構成されています。チャンバーは温度制御されており、温度、圧力、流量を正確に制御できます。ウェーハの循環は、最適な結果を得るために圧力/流量計を介して監視されます。チャンバーと循環機械の組み合わせにより、ウェーハ上に存在するすべての汚染物質を除去することができます。また、自動クリーニングサイクルと手動で起動できるクリーニングサイクルも備えています。ステーションは直感的なタッチスクリーンによって制御され、オペレータはサイクル設定を調整し、ツールのパフォーマンスを監視し、生産統計を追跡することができます。このステーションは最大50個のレシピを保存できるため、複数の基板を効率的に処理できます。このステーションは、運転中にカバーを開けた場合に作動する非常停止ボタンと安全カバーを備えた安全性を念頭に置いて設計されています。ステーションは単相、300VAC電源、および標準の16A単相コンセントで動作します。DNS SU-3000は、さまざまな基板を取り扱うことができ、幅広い生産ニーズに最適です。それは、最小限の労力で正確で反復可能な結果を提供する信頼性の高い、使いやすい資産です。