中古 DNS / DAINIPPON SU-3000 #9210948 を販売中

DNS/DAINIPPON SU-3000ウェットステーションは、多種多様なフォトリソグラフィおよびサブミクロンのプロセスにおいて、正確で高解像度の結果を提供するために設計された包括的なリソグラフィーツールです。マスクアライメント、パターニング、編集など、最先端のウェットステージとオプティクスを備えています。このシステムは、独自の急速リフロー処理を使用して、ウェーハ上のレジスト層を迅速にコートして開発し、マスク製造やフォトマスク検査、従来の光学リソグラフィなどの用途に最適です。DNS SU-3000は、高精度で調整可能なスキャンステージ、XYステージ、および高度な光学およびイメージングシステムを備え、あらゆる種類のリソグラフィープロセスにおいて堅牢で安定したプラットフォームを提供します。ウェットステージは、人間工学に基づいたシンプルな操作と低オーバーヘッドで、高いスループットを実現します。スキャンヘッドには、自動パターンアライメントと高速で正確なシフトスキャンを提供する調整可能なスキャナが装備されています。光学およびイメージングシステムには、パターンオーバーレイ、サブセルのデバッグ、パターンベースの登録など、さまざまな自動アライメントモードと編集ツールが用意されています。さらに、このユニットは、高度なビジョンマシンを通じて高度なウェーハアライメントと形状検出機能を提供します。アプリケーションの要件に応じて、誘電体、ポリシリコンエッチング、およびその他の望ましいプロセスなど、さまざまなプロセスのニーズに合わせて構成することができます。このツールはリアルタイムフィードバックで完全に自動化されているため、レジストレイヤーを高速かつ効率的に回転させ、プロセスの精度とスループットを向上させます。アセットは、高品質とディテールのフォトマスク、レチクル、および他のレジスト層を生成することができます。その結果、高解像度で複雑な機能を実現するのに適しています。さらに、フルパラメータチューニング、直感的なユーザーインターフェイス、専用のデータロギングおよびレポート生成モデルなどのプロセス制御機能を備えています。これらの機能は、プロセスを合理化し、信頼性の高い反復可能な結果を保証するのに役立ちます。DAINIPPON SU 3000ウェットステーションは、一貫した結果と信頼性の高いパフォーマンスを提供する、マイクロリソグラフィーニーズに最適なソリューションです。この包括的な装置は、最新のプロセスオートメーション技術とイメージング技術を組み合わせており、あらゆるリソグラフィやエッチングプロセスに最適です。