中古 DNS / DAINIPPON SU-3000 #293638917 を販売中
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DNS/DAINIPPON SU-3000は、半導体デバイスおよび部品の製造および計測において、均一でクリーンで信頼性の高いウェットエッチングプロセスを提供するために設計されたウェットステーションソリューションです。ウェットエッチングは、アルミニウムや銅などの繊細な金属を反応させエッチングする化学物質を使用して行われます。この技術は、MEMSデバイス、マイクロ流体チップ、ナノエレクトロメカニカルシステム(NEMS)など、さまざまな半導体アプリケーションで使用されています。DNS SU-3000の中心には液体ディスペンス装置があり、ウェットエッチング工程で使用される酸性化学物質と基礎化学物質の両方のディスペンスを正確かつ正確に制御するように設計されています。このシステムは、化学物質の送達を正確に制御し、エッチングが必要な基板に必要な量で送達することを保証することができます。単位はまた均質な解決を作成し、均一なエッチング率を保障するのに使用される混合機械およびポンプを含んでいます。DAINIPPON SU 3000には、エッチング中に基板を保持および移動するために使用される電動基板ホルダーも含まれています。このモーターを備えたホルダーは、基板に安全で信頼性の高いプラットフォームを提供するように設計されています。また、液体ディスペンスとエッチングチャンバーに関連して基板の正確な動きを提供します。これにより、基板の均一なエッチングが可能になり、また、手動処理によって引き起こされる可能性のある損傷や凹凸も回避できます。DNS/DAINIPPON SU 3000には、エッチングプロセスが安全で制御されていることを確認するために設計された安全および制御ツールも含まれています。この資産は、センサーを使用して、エッチングチャンバーまたは周囲の危険物質の存在を監視および検出します。また、有害物質を検出するとエッチングチャンバーへの電力を自動的に遮断するインターロックモデルも含まれています。SU-3000は敏感な金属の層および部品の信頼できる、きれいで、均一エッチングを提供する湿った場所装置です。優れた精度、制御、安全システムを提供し、エッチングプロセスの信頼性の高い操作を可能にし、クリーンで均一な結果を提供します。このシステムは、幅広い金属層をエッチングすることができ、さまざまな製造および計測アプリケーションに使用することができます。
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