中古 DNS / DAINIPPON / SCREEN WS-820L #9389670 を販売中
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ID: 9389670
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Wet station, 8"
PLC Damaged
Acid tank
Controller
QUARTZ
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON/SCREEN WS-820L Wet Stationは、半導体フォトリソグラフィなどに使用される多機能、高精度の自動ウェットプロセスボックスです。この装置は、精度の高いさまざまな化学処理を通じて半導体ウェーハを処理するように設計されています。メインキャビネットと4つのアタッチメントオプションキャビネットで構成されています。メインキャビネットには12の独立したケミカルコンテナ/プロセスシステムがあり、それぞれカセットシステムまたは統合ケミカルサプライユニットで構成されています。これらのプロセスには、ウェットエッチング、アッシング、クリーニングが含まれます。さらに、この機械には、化学回収ツール、化学汚泥の保管と管理のためのユニット、および組み込みの制御資産とタッチパネルディスプレイが含まれています。また、DNS WS-820Lは、効率的かつ正確な操作を保証するための幅広い機能を提供しています。最大18個の300mmウェーハを同時に処理する能力を有し、最大1リットルの量の様々な化学物質に対応できます。それは潜在的な漏出について警告し、流出の場合には化学的暴露を防ぐためにさまざまな保護モードを提供するアラームを持っています。さらに、タッチパネルディスプレイにより、操作と視覚化が容易になります。その安全機能には、化学容器蓋とプロセスバスの蓋の誤って開くことを防ぐインターロックとセンサーが含まれています。SCREEN WS-820Lには、精度と安定性を確保するいくつかの制御機能もあります。ICテスター、データコレクタ、その他のデバイスに接続するためのアナログおよびデジタル入力と出力を提供します。また、カスタムレシピで最大30の同時プロセスをサポートする機能もあります。さらに、それは他のカメラや画像解析システムに接続することができます。全体として、WS-820L Wet Stationは、エッチング、アッシング、洗浄プロセスを通じて半導体ウェーハを効率的かつ正確に処理するように設計された高精度の自動ウェットプロセスボックスです。回収モデル、制御機器、タッチパネルディスプレイ、安全機能など、さまざまな機能を備えています。さらに、アナログおよびデジタル入力、出力、およびカスタムレシピで30の同時プロセスをサポートする機能を提供します。
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