中古 DNS / DAINIPPON MP-3000 #9127747 を販売中
URL がコピーされました!
ID: 9127747
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Metal wet etch, 12"
Separation unit:
(5) Chemical cabinets:
CC1
CC2
CC3
CC5
MU
(2) Local chemical supplies:
TK
CSU
Controller: UPIBOC-III MEIDEN
ID Robot: YASKAWA XU-RCM 5400
TR Robot: Komatsu HGR-62-D
Temp. controller: Yaskawa XU-CM 5800
Teach pendent
Signal tower:
(3) Colors (GYWR)
Type: PATLITE LED
Power supply: 200V, 3 Phase, 33kVA, 94A, 50Hz (Main break: 125A)
2003 vintage.
DNS/DAINIPPON MP-3000は、半導体デバイスの製造に使用される高度なウェット処理ステーションです。このシステムは、生産に伴うコストを最小限に抑えながら、効率を最大限に高めるように設計されています。このステーションは、デガスユニット、スピンドライヤー、化学濃度モニター、化学分配ユニットなど、いくつかの個々の機器の機能を1つのワークステーションに統合しています。このステーションは既存の生産ラインに簡単に統合できるため、複数のステップを必要とするプロセスに特に便利です。この装置は、沸騰と熱誘発気化の両方により、水などの液体から不純物を除去するために使用されます。これは、生産環境を清潔に保ち、汚染物質を排除するのに役立ちます。スピン洗浄乾燥機は、遠心力を利用して同じサイクルで効果的に洗浄し、ウェーハを乾燥させます。最適な洗浄のために酸、アルカリ、洗剤など様々な薬品を使用することができます。化学濃度モニターは、適切な量と種類の化学物質がウェーハに添加されるように設計されています。これは、液体中のさまざまな成分濃度を測定し、化学濃度を調整する必要がある場合にオペレータに警告することによって達成されます。化学分配ユニットは、化学濃度モニターと連携して、化学物質を安全かつ正確に分配します。これにより、手動測定と分配が不要となり、汚染の可能性が低減されます。多くの機能に加えて、DNS MP-3000は操作が簡単で、操作者が必要に応じて設定をすばやく調整できるユーザーフレンドリーなインターフェイスが付属しています。これらの設定は保存され、将来のプロセスに再利用することができます。全体として、ダイニッポンMP3000は、あらゆる半導体生産ラインにメリットをもたらす最新のウェットステーションです。機能と機能の組み合わせにより、信頼性が高く効率的な選択肢となります。
まだレビューはありません