中古 DNS / DAINIPPON MP-2000 #9142676 を販売中

DNS / DAINIPPON MP-2000
ID: 9142676
ウェーハサイズ: 8"
Spin processor, 8" Process: WET.
DNS/DAINIPPON MP-2000は、リソグラフィ用に設計されたウェットステーションです。大量生産で大型基板をパターン化するために設計されたツールです。モジュール式で構成可能なリソグラフィ処理プラットフォームを提供し、非常に柔軟でスケーラブルなリソグラフィーソリューションを提供します。このシステムには強力なDNS 2000リソグラフィーエンジンが搭載されており、線幅を90nmまでイメージングすることができます。この精度と設定性の組み合わせにより、DNS MP-2000はさまざまな本番アプリケーションに最適です。最大5つのウエハを同時に処理することが可能な大日本MP-2000は、最大22 「x 22」の広いアクティブ領域を持ち、プログラム可能な露出範囲を提供します。また、ガーバーやPDFなどの幅広いデータフォーマットを使用する柔軟なパターンプログラミング機能も備えています。MP-2000には、ライブオートフォーカス、モーションコントロール、自動再現性などの高度な機能があります。また、自動化されたアライメント機能を備えた高解像度イメージングシステムを提供し、大型基板上のパターンを正確かつ効率的に生成できます。また、オプションのパターンジェネレータを内蔵しており、独自のパターンや所定の形状を生成できるほか、品質管理のための光学検査システムも内蔵しています。また、産業レベルの生産向けに開発された強力なリソグラフィーソフトウェアスイートを提供しており、レシピ管理やデータキャプチャなどのさまざまな機能を提供しています。また、自動マテリアルハンドリングシステムとも互換性があり、大量生産のための非常に生産的なツールとなります。また、DNS/DAINIPPON MP-2000は、TCO(総所有コスト)とライフサイクルの長い信頼性の高いソリューションを提供します。DNS MP-2000は、多数の基板を迅速かつ正確に製造しようとするあらゆる組織にとって優れたツールです。その信頼性と高性能機能により、リソグラフィに非常に費用対効果の高い選択肢を提供します。
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