中古 DNS / DAINIPPON FS-820L #9026293 を販売中

DNS/DAINIPPON FS-820Lウェットステーションは、半導体産業に特化した先進的なウェット加工機です。ウェーハレベルとチップレベルの両方のプロセスを処理できるため、プロセスの柔軟性とスループットが向上します。DNS FS-820Lの主な特徴は、高度なハイドロスプリッティング技術です。この技術により、プロセスの再現性が高く、ウェーハワープと粒子汚染のレベルが低いことが可能になります。また、プロセスオンデマンド機能も備えており、迅速かつ正確なプロセス実行が可能です。DAINIPPON FS-820Lの中核となるのは、洗浄、乾燥、IPA洗浄の5段階の分割モジュールです。分割モジュールは最高レベルの洗浄、乾燥、IPA洗浄性能を実現し、完璧な最終製品を保証します。さらに、GlaCeraTMソリューションは、純水を安定した超低温に保ち、漏れを防ぎ、清潔さを確保します。FS-820Lには、3段階のプロセスを備えたローディングアームモジュールも含まれており、特定のニーズに合わせてプロセスをさらにカスタマイズできます。このモジュールは、負荷ポート、エンドエフェクタ、およびフラットバッテリ取り外し/インストールなどのプロセスを自動化するのに役立ちます。ウェットステーションには、LCD付きの強化されたユーザーインターフェイスや、プロセス設定を合理化するためのカスタマイズ可能なボタンなど、さまざまな機能もあります。そして制御、データ収集およびプロセスのトレーサビリティのための直観的なソフトウェアパッケージ。全体として、DNS/DAINIPPON FS-820Lは効率的で信頼性の高いウェット処理システムであり、幅広いプロセスオプションを提供します。プロセス効率を最大化し、ウェーハワープを最小限に抑え、最適な粒子汚染レベルを確保するように設計されています。高度な機能、柔軟なプロセス機能、直感的な設計により、DNS FS-820Lは半導体業界にとって理想的なツールです。