中古 DNS / DAINIPPON FS-820L #293753902 を販売中

DNS/DAINIPPON FS-820Lは、ウェットプロセスアプリケーション用に設計されたウェットステーションです。この湿式ステーションは、研究と生産の要求を満たすために完全で信頼性の高いプロセスソリューションを提供します。ステーションは、ウェットステーションボディ、チャンバー、ウェーハトレイ、コントローラなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。ウェットステーションボディは、固体、耐腐食性ステンレススチールベースと高温耐性トップカバーで構成されています。チャンバーは2つのセクションに分かれており、プロセスチャンバーの温度範囲は10〜180°Cで、湿度範囲は0〜60％です。チャンバーには、運転中に最適なチャンバー条件を制御および維持するための統合チャンバー換気システムもあります。ウェットステーションには、5つの調整可能なトレイを備えた大きなトレイテーブルがあり、最大5つの異なるウエハを同時に効率的に処理できます。コントローラはウェットステーションの中央ユニットであり、手動および自動ウェットプロセスの両方をサポートするように設計されています。温度や湿度などのプロセスパラメータを制御したり、サンプル処理用のロボットアームの動きを制御することができます。コントローラは、最大32のレシピのプログラミングを可能にし、最大64のプロセスステップを可能にします。ウェットステーションには、PCソフトウェアを搭載したPCが内蔵されており、プロセス条件とプロセス結果のデータロギングと分析を提供します。ぬれた場所は取付け、作動すること容易です。それに小さい足跡があり、あらゆる生産の設定に置くことができます。ステーションはCEおよびUL認証を取得しており、産業用途に最適です。DNS FS-820Lは、ウェット処理のための信頼性が高く、効率的で費用対効果の高いプロセスソリューションです。