中古 DNS / DAINIPPON FS-820L #293597789 を販売中
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ID: 293597789
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Wet station, 8"
A / Box
Main body
Front loader
S/D
ONB1
PCVB1
PCB1
PCB2
CSB1
H202
SUB-CSB
H2S04/H202
Power cabinet
Aspirator
PRETECH PT-08M Finesonic generator
DI Water heater
ULTAS PT Generator 06BSV
Robot loading
Dyal megasonic bath
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON FS-820Lは、精密な洗浄と洗浄を提供する半導体デバイス製造のためのウェットステーションです。このウェットステーションは、ソロとバッチの両方の生産に適しています。DNS FS-820Lは、シリコンウェーハ、テープ、フィルム、ガラスなど、幅広い素材に精密な洗浄を提供しています。8基のタンクを搭載し、1つのステーションで様々な洗浄ステップを同時に処理することができます。DAINIPPON FS-820Lは、操作しやすいコントロールパネル、連続的に調節可能なタンク温度、リアルタイムデータ監視など、ユーザーフレンドリーに設計されています。自動化された操作と洗浄プロセスの正確な制御をサポートするクリーニングモニター装置が装備されています。モニターシステムは、クリーニング操作が効果的に完了しているかどうかを確認するために使用することができます。FS-820Lは、洗浄液の希釈を最適化することで一貫した仕上がりを確保できる流量制御および濃度制御システムを使用しています。また、水使用量モニタリングユニットを備えており、工程ごとに適切な水流量を設定することで、水使用量を最小限に抑えることができます。DNS/DAINIPPON FS-820Lの洗浄時間は0。5秒から99秒まで調整可能です。また、プロセス制御のすべてのニーズを満たすために、周囲から99℃まで幅広い温度設定を提供しています。材料の混入を防ぐため、すべてのタンクにEIS (Easy Identification Machine)が設置されています。このツールを使用すると、各タンクにタンクIDを事前に割り当てることができ、識別が容易になります。DNS FS-820Lはまた、流体の正確な投与、通気、および泡の除去をサポートする強力な空気および流体バルブ制御資産を提供します。また、ステーション内の処理対象物の位置をリアルタイムに記録し、温度、流量、希釈を記録するプラットフォームモニターも含まれています。安全を確保するために、ダイニッポンFS-820Lには、機器の清潔性と安定性を確保する高度なモニタリングモデルが搭載されています。また、自動pH調整システム、酸性ネスター、脱気ユニットを含む酸対策も含まれているため、ユーザーの安全性が保証されています。結論として、FS-820LはEasy Identification Machine、流量制御、集中制御、強力な空気と流体制御などの有用な機能を備えたウェットステーションを製造する半導体デバイスです。調節可能なタンク温度とタイムアウト設定により、ソロ生産とバッチ生産の両方に適しています。高度なモニタリングツールにより、安全性と清潔性を確保し、半導体デバイス製造に最適です。
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