中古 DNS / DAINIPPON FS-820L #293592680 を販売中

DNS / DAINIPPON FS-820L
ID: 293592680
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Wet station, 8 S/D ONB1 ONB2 ONB3 CSB1 Chlorine CSB2 H202 CSB3 HF CSB4 HCL CSB5 HF Chemicals: H202, HCL, HF, Choline Power cabinet Aspirator PRETECH PT-08M DI Water heater ULTAS PT Generator 06BSV Dual megasonics Robot loading 1997 vintage
DNS/DAINIPPON FS-820Lウェットベンチステーションは、小型・大型基板加工用のテーブルトップクリーンルーム装置です。電気めっき、ウェットエッチング、フォトレジストストリップなど、さまざまなウェハベースのアプリケーションに高品質のプロセス結果を提供します。DNS FS-820Lは、特に手動または自動ポンプの選択により、ラボに最適です。このウェットベンチステーションには、プログラム可能な安全システムとグラフィカルユーザーインターフェイスを含む自動プロセス制御が付属しています。これにより、ユーザーはプロセスパラメータを簡単に監視できます。大日本ウェットステーションの主な構成要素FS-820L、メインフレーム、メインタンク、バックタンク、オーバーフロータンク、廃棄タンク、ブロンズメッシュトレイ、および多数のオプションタンクです。液浸タンクとしても知られるメインタンクは、処理中に部品と液体を保持します。それはステンレス鋼から成り、事前に決定された温度を維持するために絶縁されます。またステンレス鋼から成っている裏側タンクが液浸タンクおよび流出タンクを握るのに使用されています。さらに、ブロンズメッシュトレイは、水圧的に吊り下げられた部品をタンクの底にレベルに保ち、プロセス中に動かないようにするのに役立ちます。オーバーフロータンクは、メインタンクを通過するメッキ液を回収し、再利用するように設計されています。廃棄物タンクは汚染された解決および非混合めっきの解決の有効な処分のために使用されます。FS-820Lウェットステーションには、DI水および再循環ポンプ、プロセスコントローラ、およびステータ液体の温度、圧力、流量を制御するために使用されるパワーバーなどの他の補助部品も含まれています。また、DNS/DAINIPPON FS-820Lには、空気圧式の膜転写ステーションが装備されています。このステーションは、ウェットプロセス中に各部品が確実に処理され、正確に配置されるようにするために使用されます。フラッシングユニットもこのステーションに統合されており、ステータ液体の汚染レベルを制御することができます。DNS FS-820Lウェットベンチはモジュラーアーキテクチャで設計されています。これにより、ユーザーのニーズと予算に基づいてコンポーネントを追加できます。ステーションはまた、さまざまなステータとの互換性を提供するように設計されており、ユーザーの安全性を考慮しています。高度なろ過機は汚染物質を減らすのに役立ち、内蔵のDI水はプロセスをより速くそしてより効率的にします。DAINIPPON FS-820Lは、幅広いウェーハ処理アプリケーションのニーズに対応する完全な自動化ソリューションを提供する、エネルギー効率の高いウェットステーションです。
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