中古 DNS / DAINIPPON FC-3100 #9033293 を販売中

DNS/DAINIPPON FC-3100は、半導体リソグラフィやエッチングに使用されるウェットステーションです。半導体チップのエッチングに使用される高度なCCD式コントローラを搭載した超高解像度ステッパーとスキャナを組み合わせた装置です。XYステージとロングストロークZ軸の組み合わせで精度を維持します。DNS FC3100には、複雑なマイクロチップを作成するための精度を提供する動的マルチレンズシステムがあります。3つの光学系は、それぞれ異なる焦点面を提供するようにプログラムされています。その後、光学ユニットと精密ステージが結合され、機械内のさまざまなパラメータを微調整できます。スキャンステージは、X-YステージとロングストロークZ軸を使用して、1µmまでの全体的な精度を維持します。DAINIPPON FC 3100には、基板を動作領域にロードおよびアンロードするための自動基板ローディングツールがあります。基板負荷アセットには、ウェーハの配置を監視するセンサーが装備されています。センサーは、読み込みとアンロード時にアラームを提供し、指定されたパラメータからのずれや偏差をオペレータに警告します。基板の欠陥を検出するために、光学検査モデルをFC-3100と統合しています。本装置には、高精度レンズと画像処理ソフトウェアを搭載し、動作領域から基板を除去する前に欠陥を特定します。この欠陥検出は、自動ハードウェアシステムと組み合わされ、欠陥のあるウェーハを動作領域から検査および分離します。また、DAINIPPON FC-3100には、動作温度を維持するための環境制御ユニットがあります。この機械はステッパーおよび走査器の光学区画に精密な温度調整を提供し、すべての変数が操作のために最適化されることを保障します。最後に、DNS FC 3100には、ハンドヘルドジョグコントローラなどの安全機能が装備されています。このジョグコントローラにより、オペレータはステージを慎重にナビゲートし、光学システムを調整することができます。さらに、DNS/DAINIPPON FC 3100には、プロセス仕様に従ってオイル、ほこり、汚染を確実に制御するための低放射性攪拌真空ツールが取り付けられています。結論として、FC 3100ウェットステーションは、半導体チップの高精度な処理を提供するように設計された高度で高度な資産です。自動化された光学システム、精密段階、環境制御、自動化されたウェーハの処理、および安全機能の組合せはそれをリソグラフィおよびエッチング操作のための理想的な選択にします。