中古 DNS / DAINIPPON FC-3100 #78944 を販売中

DNS/DAINIPPON FC-3100ウェットステーションは、半導体製造のための高性能で費用対効果の高い自動処理プラットフォームです。このユニットは、IC製造プロセス全体で介入を減らし、変動性を最小限に抑え、歩留まりを向上させるために、高度な自動化システムとプロセス制御システムの両方で設計されています。DNS FC3100は、2チャンバーウェットステーション処理機能で構成されています。最初のチャンバーはウェットプロセスモジュールで、ウェハのプライミング、エッチング、洗浄、洗浄を容易にします。プロセスチャンバーは高度で高度なプロセス制御システムによって制御され、効率的でリスクのないウェーハ処理方法を提供します。これには、混合レシピ、温度および圧力設定の調整、チャンバー内の液体の流れとレベルの制御、および現在の状態の監視が含まれます。このチャンバーには、正確な圧力測定、自動化されたプロセス制御、およびオンボードウェーハソーターも備えています。DAINIPPON FC 3100の2番目のチャンバーは、ウェットプロセスモジュールが完成した後に行われる乾燥モジュールです。このチャンバーは、ウェーハを乾燥させるための熱、化学蒸着、直流（DC）スパッタリングプロセスを組み合わせて使用し、過剰な液体残留物を最適に除去します。これにより、残留除去プロセスの矛盾による歪みを解消することもできます。ウェーハを乾燥させた後、次のプロセスに送られる前に、ウェーハソーターが自動的にソートして整列します。さらに、ウェットステーションFC3100は、プロセスチャンバーの現在の状態を表示し、プロセスの現在の状態に関連するパラメータの調整を支援するアクティブフォルトモニターも備えています。さらに、リアルタイムのフィードバックとプロセス知識は、最高の成果と効率を継続的に達成するのに役立ちます。効率的な設計、統合された自動化およびプロセス制御システムを通じて、FC-3100は、ウェーハの高性能で費用対効果の高い処理とプロセス制御を求める人々にとって不可欠なリソースです。