中古 DNS / DAINIPPON FC-3000 #9240250 を販売中

DNS/DAINIPPON FC-3000ウェットステーションは、要求の厳しい半導体製造アプリケーション向けに設計された高性能ウェット処理ステーションです。このプラットフォームは、フォトレジストトッピング、スクラブ、スラリーバッファリング、スプレーコーティング、露出後のベーク、レジストストストリップなど、幅広い高度なリソグラフィ作業に最高の自動化と制御を提供します。DNS FC3000は、特定のプロセス要件を満たすように構成することができます。統合されたメガソニックタンク、耐薬品性ベッドライナー、脱イオン水（DI）タンク、および耐薬品性の換気装置を備えています。ノズルとセンサーの高精度な動きはリニアモータによって可能になり、複数のバッチにわたって正確かつ再現可能な動作を提供します。このシステムには、温度、圧力、およびその他のパラメータを正確に制御できるPDV-3000 RISTコントローラが装備されています。DAINIPPON FC 3000は、スクラブ、乾燥、研磨を行う自動洗浄ユニットを備えています。また、必要な化学物質を自動的に分配するように設定することもできます。ジッピーシリーズなどの高性能レジスト材料をはじめ、幅広い化学薬品やレジストに対応しています。また、多種多様なツーリングとノズルセット、乾式、湿式、浸漬エッチング機能も備えています。高度なセキュリティと安全機能により、ダイニッポンFC3000は敏感なプロセス環境に最適です。厳格な安全およびセキュリティプロトコルに準拠するように構築されています。その結果、最も厳しいULおよびCSA規格を満たすことが認定されました。さらに、ステーションはMOSFET Level IIIおよびHAST試験規格にも準拠しており、最高レベルの再現性と信頼性を確保しています。上記の機能に加えて、DAINIPPON FC-3000はドラッグアンドドロップジョブスケジューリングマシンと統合され、オペレータが利用可能な時間を効率的に利用できるようになります。これにより、このプラットフォームは、忙しいファブのハイスループットアプリケーションに最適です。FC-3000ウェットステーションは、複雑なリソグラフィープロセスのための最高レベルのオートメーションと制御を提供するように設計されています。温度、圧力、化学物質の分散などのパラメータを正確に制御します。自動クリーニングツール、高度な安全機能、ユーザーフレンドリーなジョブスケジューリング機能により、DNS/DAINIPPON FC 3000は、要求の厳しい半導体製造アプリケーションに最適です。