中古 DNS / DAINIPPON FC-3000 #9240032 を販売中

DNS/DAINIPPON FC-3000（別名ウェットステーション）は、各種材料を基板上に堆積・コーティングするための産業機器です。複数のコーティング技術を組み合わせ、機能性を最大化し生産性を高めるウェットステーションです。DNS FC3000は、アトマイザーとスピンウォッシュシステムを使用して、ウェーハ、チップ、またはその他の材料の基板に薄膜の薄膜コートを堆積させます。薄膜材料の液滴を基板上に噴霧し、基板表面に均一に広げます。スピンウォッシュユニットは、液滴が充填された領域を別々のセクションに分割し、薄膜材料の制御と精密な堆積を可能にします。DAINIPPON FC 3000は、高度な化学処理を使用して一貫した結果を提供する高効率のウェットステーションです。成膜パターンを引き締め、フィルムの均一性を高めるデュアルアクションノズル機を搭載しています。内蔵の膜厚検出器により、成膜プロセスを正確に制御できます。使いやすいヒューマンマシンインターフェース（HMI）を備えたコンパクトな制御ユニットにより、ユーザーはプロセスを完全に制御できます。DNS/DAINIPPON FC 3000は、高精度で高効率な洗浄のための現場洗浄技術も備えています。このツールは、自動ウェットクリーニングモジュールを使用して、コーティングプロセスの前後に基板を洗浄します。自動化されたプリクリーニング機能は、高圧ポンプを使用して汚れ、ほこり、表面残留物を除去し、ポストクリーニング機能は残留および未使用のコーティング材を除去します。DNS FC-3000は、比較的大きな基板上に薄膜を堆積させるための強力なイオンビーム源と統合されています。この技術は汎用性が高く、ユーザーに幅広いアプリケーションを提供しています。ナノスケールからマクロスケールまでの範囲のフィルムを堆積させることができ、半導体デバイス、バイオテクノロジー、食品加工、建築コーティングなどの用途に使用することができます。DAINIPPON FC3000は、故障率が低く生産性が向上した信頼性の高いウェットステーションです。リアルタイムのフィードバックと診断、および予防保守機能を提供する品質監視資産を備えています。さらに、統合プロセスレシピや自動温度制御などの最先端の機能を備えており、プロセスの一貫性を向上させます。DNS FC 3000は、薄膜成膜とコーティングを必要とするあらゆる産業用途に最適です。高度な技術、比類のない精度、高効率の組み合わせにより、信頼性と高度なウェットステーションソリューションをお探しの方に最適です。